[发明专利]一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法在审
| 申请号： | 202210345171.2 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114966207A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 袁振洲;刘欣宇 | 申请（专利权）人： | 江苏超芯星半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01J3/46 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞云 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市中国（江苏）自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 电阻率 检测 方法 装置 以及 关系 确定 | ||
1.一种半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，包括：
紫外线光照射待测半导体材料；
获取所述待测半导体材料的发光颜色；
根据所述发光颜色确定颜色值；
根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率。
2.根据权利要求1所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，所述根据所述发光颜色确定颜色值包括，根据所述发光颜色确定RGB数值，根据所述RGB数值确定所述颜色值。
3.根据权利要求2所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，根据所述RGB数值确定所述颜色值，包括：
根据以下公式确定所述颜色值：
A＝(65536*B)+(256*G)+(R)；
其中，A为所述颜色值，B为所述RGB数值中的蓝色数值，G为所述RGB数值中的绿色数值，R为所述RGB数值中的红色数值。
4.根据权利要求3所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，所述根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率包括，通过颜色值-电阻率关系式A＝kρ确定所述电阻率；
其中，ρ为所述电阻率，k为正数。
5.根据权利要求1所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，所述根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率包括，根据颜色值-电阻率对应数据库确定与所述颜色值对应的所述电阻率。
6.根据权利要求1所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，所述获取所述待测半导体材料的发光颜色包括：
拍摄所述待测半导体材料，得到所述待测半导体材料的彩色照片；
根据所述彩色照片的颜色确定所述发光颜色。
7.根据权利要求1所述的半导体材料电阻率检测方法，其特征在于，所述紫外线光的波长为320-340nm。
8.一种半导体材料发光颜色与电阻率关系确定方法，其特征在于，包括：
紫外线光照射待测半导体材料；
获取所述待测半导体材料的发光颜色；
根据所述发光颜色确定颜色值；
获取所述待测半导体材料的电阻率；
根据所述颜色值与所述电阻率确定颜色值-电阻率关系。
9.根据权利要求8所述的半导体材料发光颜色与电阻率关系确定方法，其特征在于，所述根据所述颜色值与所述电阻率确定颜色值-电阻率关系包括，建立所述颜色值与所述电阻率的对应关系，形成颜色值-电阻率对应数据库。
10.一种半导体材料电阻率检测装置，其特征在于，包括：
紫外线发射器，用于以紫外线光照射待测半导体材料；
颜色传感器，用于获取所述待测半导体材料的发光颜色；
信息处理器，用于根据所述发光颜色确定颜色值，根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率。
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