[发明专利]一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法

说明书

本发明实施例公开了一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法。半导体材料电阻率检测方法包括：紫外线光照射待测半导体材料；获取待测半导体材料的发光颜色；根据发光颜色确定颜色值；根据颜色值‑电阻率关系确定颜色值对应的电阻率。本发明实施例通过发光颜色即可确定半导体材料电阻率，无需进行切片等加工步骤以及精密检测仪器检测。提高了生产工艺过程中的检测效率，降低了检测成本。

技术领域

本发明实施例涉及电阻率检测技术，尤其涉及一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法。

背景技术

对于工业生产的半导体晶体，电阻率是极其重要的性能参数指标之一。

然而，现有技术中对工业半导体晶体产品的电阻率检测，需要将晶锭切片、割圆、研磨以及抛光后的晶片成品在实验室中采用精密的检测仪器进行检测，因此后期对每个晶锭都进行切片等步骤加工后再进行精密检测的方式，加重了检测科室检测人员的工作强度，同时也会增加精密检测设备折旧率，并且各精密检测设备体积较大、价格昂贵且对检测环境要求严格，也不适用于生产工艺过程中的电阻率检测。因此存在检测效率低，检测成本高的问题。

发明内容

本发明提供一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法，以提高检测效率，降低检测成本。

第一方面，本发明实施例提供了一种半导体材料电阻率检测方法，包括：

紫外线光照射待测半导体材料；

获取所述待测半导体材料的发光颜色；

根据所述发光颜色确定颜色值；

根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率。

可选的，所述根据所述发光颜色确定颜色值包括，根据所述发光颜色确定 RGB数值，根据所述RGB数值确定所述颜色值。

可选的，根据所述RGB数值确定所述颜色值，包括：

根据以下公式确定所述颜色值：A＝(65536*B)+(256*G)+(R)；

其中，A为所述颜色值，B为所述RGB数值中的蓝色数值，G为所述RGB 数值中的绿色数值，R为所述RGB数值中的红色数值。

可选的，所述根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率包括，通过颜色值-电阻率关系式A＝kρ确定所述电阻率；

其中，ρ为所述电阻率，k为正数。

可选的，所述根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率包括，根据颜色值-电阻率对应数据库确定与所述颜色值对应的所述电阻率。

可选的，所述获取所述待测半导体材料的发光颜色包括：拍摄所述待测半导体材料，得到所述待测半导体材料的彩色照片；根据所述彩色照片的颜色确定所述发光颜色。

可选的，所述紫外线光的波长为320-340nm。

第二方面，本发明实施例还提供了一种半导体材料发光颜色与电阻率关系确定方法，包括：

紫外线光照射待测半导体材料；

获取所述待测半导体材料的发光颜色；

根据所述发光颜色确定颜色值；

获取所述待测半导体材料的电阻率；

根据所述颜色值与所述电阻率确定颜色值-电阻率关系。

可选的，所述根据所述颜色值与所述电阻率确定颜色值-电阻率关系包括，建立所述颜色值与所述电阻率的对应关系，形成颜色值-电阻率对应数据库。。

第三方面，本发明实施例还提供了一种半导体材料电阻率检测装置，包括：