[发明专利]一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统有效
申请号: | 202210345696.6 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114769141B | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 宋雅文;秦华兵;汤庆敏;史呈琳;邓达超 | 申请(专利权)人: | 潍坊华光光电子有限公司 |
主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02;B07C5/344;B07C5/342;B07C5/36 |
代理公司: | 济南光启专利代理事务所(普通合伙) 37292 | 代理人: | 李晓平 |
地址: | 261061 山东省潍坊市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 管芯 功率 光斑 检测 系统 | ||
1.一种半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,包括:
机械臂,所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器;其中:所述第一抓手、第二抓手均固定在机械臂端部旋转轴上;所述第一反射器连接在第一抓手的下部;
管芯功率检测系统,其包括:工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计;其中:所述升降机构设置在工作台上方,所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上,且热敏功率计位于通电元件上方。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述第一抓手、第二抓手之间的夹角不小于30°。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述第一反射器为直角反射镜,且该直角反射镜的两个直面分别为底面和侧面。
4.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述工作台上具有吸附机构。
5.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述工作台中还具有冷却散热装置。
6.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述升降机构包括第一横向导轨、纵向导轨、第二横向导轨;其中,所述第一横向导轨水平滑动连接在工作台上方的支架上,所述纵向导轨竖向滑动连接在第一横向导轨上;所述第二横向导轨水平滑动连接在纵向导轨上;所述通电元件固定在纵向导轨的下端,所述热敏功率计固定在第二横向导轨上。
7.根据权利要求1-6任一项所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述管芯功率检测系统还包括CCD图像采集装置和环形光源,所述CCD图像采集装置和环形光源均固定在支架上且位于第一横向导轨的一侧,所述CCD图像采集装置的镜头朝下设置,所述环形光源位于该镜头正下方。
8.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,还包括产品定位盘。
9.根据权利要求8所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述定位盘上设置有光电传感器,该光电传感器与工控机连接。
10.根据权利要求9所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述定位盘的一端具有除静电离子风释放口。
11.根据权利要求1-6任一项所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述第一反射器被吸附在第一抓手下端的吸盘上。
12.一种半导体激光器管芯光斑自动检测系统,其特征在于,包括:权利要求1-11任一项所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,以及:驱动器、第二反射器、管芯光斑检测系统;其中:所述驱动器固定在第一抓手的上部,所述第二反射器固定在驱动器上,所述第二反射器在未伸出前位于不阻挡第一反射器的反射光路的位置处,所述驱动器使第二反射器伸出后与第一反射器构成潜望镜结构,所述管芯光斑检测系统位于第二反射器的反射光路上。
13.根据权利要求12所述的半导体激光器管芯光斑自动检测系统,其特征在于,所述第二反射器包括反射镜和镜筒,所述反射镜固定在镜筒的一端,且该反射镜的反射面与所述第一反射器的反射面构成潜望镜结构;所述驱动器与镜筒连接。
14.根据权利要求12所述的半导体激光器管芯光斑自动检测系统,其特征在于,所述反射镜为直角反射镜。
15.根据权利要求12-14任一项所述的半导体激光器管芯光斑自动检测系统,其特征在于,所述管芯光斑检测系统包括CCD相机及其连接的工控机,所述工控机中具有用于识别CCD相机拍摄的光斑形状的图像处理系统和判断光斑是否合格的数据库。
16.根据权利要求15所述的半导体激光器管芯光斑自动检测系统,其特征在于,所述管芯光斑检测系统的光线入口前方还设置有聚焦镜。
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