[发明专利]一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统

说明书

本发明公开一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统，包括：机械臂、管芯功率检测系统。所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器。所述第一抓手、第二抓手固定在机械臂端部旋转轴上。所述第一反射器连接在第一抓手的下部。所述管芯功率检测系统包括工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计。所述升降机构设置在工作台上方，所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上，热敏功率计位于通电元件上方，升降机构驱动通电元件下降后与工作台上的待检管芯接触使其发光，光线被第一反射器导入热敏功率计后检测管芯的发光功率是否合格。该系统不仅能够提高流水线效率，减少管芯成品故障率，而且采用自动化检测，具有效率高、出错率低的特点。

技术领域

本发明涉及激光器管芯检测技术领域，具体涉及一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统。

背景技术

本发明背景技术中公开的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

半导体激光器因体积小巧、输出功率范围广、波长种类多功耗小和可靠性高等优点被广泛应用在光通信、光存储、材料加工和医疗美容等行业。管芯作为半导体激光器中的发光器件，在激光器的封装中尤为重要，封装和使用过程中会伴随着管芯发生各种各样的故障。然而，目前还没有专门的用于管芯封装过程中质量检测的装置，给管芯的质量监控带来了极大不便。

发明内容

为了筛选、检测和分析半导体激光器封装过程中管芯是否合格，避免有问题的产品流出，造成后续的损失的。本发明提供一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统，该系统不仅能够提高流水线效率，减少管芯成品故障率，而且采用自动化检测，具有效率高、出错率低的特点。为实现上述目的，本发明公开如下所示的技术方案。

首先，本发明公开一种半导体激光器管芯功率自动检测系统，包括：机械臂、管芯功率检测系统。其中：所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器。所述第一抓手、第二抓手均固定在机械臂端部旋转轴上。所述第一反射器连接在第一抓手的下部。所述管芯功率检测系统包括：工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计。其中：所述升降机构设置在工作台上方，所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上，且热敏功率计位于通电元件上方，升降机构驱动通电元件下降后与工作台上的待检管芯接触，为管芯通电使其发射光线，光线被第一反射器导入热敏功率计后检测管芯的发光功率是否合格。

进一步地，所述第一抓手、第二抓手之间的夹角不小于30°，以便于避免检测过程中相互干扰。

进一步地，所述第一反射器为直角反射镜，且该直角反射镜的两个直面分别为底面和侧面，从而在管芯发射的光线水平入射在该直角反射镜的斜面反射面上后被垂直反射进入上方的热敏功率计中或者伸出的反射镜的斜面反射面上。

进一步地，所述工作台上具有吸附机构，以便于吸附固定放置在工作台中的管壳。

进一步地，所述工作台中还具有冷却散热装置，以便于为通电发光的管芯进行散热。

进一步地，所述升降机构包括第一横向导轨、纵向导轨、第二横向导轨。其中，所述第一横向导轨水平滑动连接在工作台上方的支架上，所述纵向导轨竖向滑动连接在第一横向导轨上。所述第二横向导轨水平滑动连接在纵向导轨上。所述通电元件固定在纵向导轨的下端，所述热敏功率计固定在第二横向导轨上，从而方便地调节通电元件、热敏功率计的位置。

进一步地，所述管芯功率检测系统还包括CCD图像采集装置和环形光源，所述CCD图像采集装置和环形光源均固定在支架上且位于第一横向导轨的一侧，所述CCD图像采集装置的镜头朝下设置，所述环形光源位于该镜头正下方。