[发明专利]一种可靠的腔体吹扫方法

权利要求书

1.一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，包括以下步骤：

预先设置吹扫启动环境和吹扫结束条件；

基于所述吹扫启动环境配置对应的吹扫启动程序；

接收吹扫指令，启动吹扫启动程序对待吹扫的腔体进行吹扫；

当所述腔体内的压力值达到所述吹扫结束条件后，结束吹扫启动程序；

所述吹扫结束条件的设置流程如下：获取当前腔体内压力值得到关于时间点的实时压力值集合，将所述实时压力值集合中的多个元素波动程度与预定压力值区间进行对比，若多个元素波动程度属于所述预定压力值区间内，则开始计时得到稳定的时间段T，若T属于预定时间段内，则结束吹扫启动程序；

其中，所述吹扫结束条件至少包括以下条件：当前腔体内压力值波动程度在预定压力值区间内且稳定的时间段T在预定时间段内；

所述吹扫启动程序具体包括以下流程：

S1、启动抽空装置，抽空装置处于满运行状态，对所述腔体进行抽气，控制腔体内压力值在0-3000mtorr范围内，预定抽气时间不低于15s后，关闭抽空装置；

S2、将吹扫气体充入腔体内，吹扫气体量设定为不大于MFC量程，吹扫气体用于稀释腔体内的特气以及对腔体回压；

S3、再次启动抽空装置，抽空装置处于满运行状态，对所述腔体进行抽气，并同时持续充入吹扫气体，实现边充气边抽气状态。

2.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

所述预定压力值区间设置为压力值波动范围≤5％，预定时间段设置为5s-10s。

3.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

当T小于预定时间段最小值时，当所述实时压力值集合出现多个元素波动不属于预定压力值区间内时，则重计时间T，如此反复，直至T属于预定时间段内。

4.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

所述吹扫启动环境至少包括以下参数：抽空装置工作状态、吹扫气体量、以及吹扫时间。

5.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

所述S3步骤中，控制腔体内压力值在0-3000mtorr范围内；吹扫气体量设定为不大于MFC量程；持续充入吹扫气体时间设定为在10s-120s范围内。

6.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

所述吹扫启动程序结束后，关闭抽空装置停止抽气，向所述腔体内充入惰性气体，惰性气体对腔体回压。

7.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

吹扫气体充入端与抽空装置抽气端位于所述腔体的两端，两端闭合状态下腔体内部为密闭空间。

8.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

设定吹扫总时间ξ，若超出吹扫总时间ξ，所述腔体内压力值尚未达到吹扫结束条件，则结束吹扫启动程序；ξ满足以下计算公式：

ξ＝3t；

其中，t为达到要求真空度所需时间，V为真空室容积，S为真空泵抽气速率，P1为初始真空度，P2为要求真空度。

9.根据权利要求1所述的一种可靠的腔体吹扫方法，其特征在于，

所述吹扫气体为氮气或其他惰性气体。