[发明专利]一种可靠的腔体吹扫方法

说明书

本发明公开了一种可靠的腔体吹扫方法，属于太阳能电池技术领域。包括以下步骤：预先设置吹扫启动环境和吹扫结束条件；基于所述吹扫启动环境配置对应的吹扫启动程序；接收吹扫指令，启动吹扫启动程序对待吹扫的腔体进行吹扫；当所述腔体内的压力值达到所述吹扫结束条件后，结束吹扫启动程序。本发明中利用腔体内趋于平衡的压力值体现腔体内特气是否被清除干净，此时腔体内的压力值皆由吹扫气体带来的，故可判定腔体内的特气已被排除干净，本发明中以平衡的压力值作为指标更加简单明了，既保证了腔体吹扫方法的可靠性，降低了残余特气对工作人员的危害，又减少吹扫气体的浪费。

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种可靠的腔体吹扫方法。

背景技术

随着太阳能技术的发展，钝化技术在晶硅电池上的应用得到广泛的研究，诸如氧化铝薄层在PERC电池的应用，隧穿氧化层及掺杂非晶硅层在TOPCon电池的应用，非晶硅层在HJT电池的应用，以及掺杂碳化硅、氟化镁的薄膜等等；新型钝化膜的引入，使太阳能电池效率一致处于爬坡状态。

在电池生产过程中参与的生长源，如特气，大多对人体具有危害性，属于危险品，因此需要将真空腔内的特气稀释吹扫掉，现有技术中一般采用惰性气体对腔体进行吹扫，但整个过程中仅仅通过时间参数来触发吹扫结束条件，因此会导致以下问题：1、设定的吹扫时间短，吹扫结束后腔体内还残留特气，如果此时打开真空腔，则残留的特气会对工作人员造成危害；2、设定的吹扫时间长，即使特气已全部被吹扫出腔体，但未达到设定的吹扫时间，此时惰性气体持续输入，进而导致了惰性气体的浪费。

发明内容

发明目的：为了解决上述问题，本发明提供了一种可靠的腔体吹扫方法。

技术方案：预先设置吹扫启动环境和吹扫结束条件；基于所述吹扫启动环境配置对应的吹扫启动程序；接收吹扫指令，启动吹扫启动程序对待吹扫的腔体进行吹扫；当所述腔体内的压力值达到所述吹扫结束条件后，结束吹扫启动程序；

所述吹扫结束条件的设置流程如下：获取当前腔体内压力值得到关于时间点的实时压力值集合，将所述实时压力值集合中的多个元素波动程度与预定压力值区间进行对比，若多个元素波动程度属于所述预定压力值区间内，则开始计时得到稳定的时间段T，若T属于预定时间段内，则结束吹扫启动程序；

其中，所述吹扫结束条件至少包括以下条件：当前腔体内压力值波动程度在预定压力值区间内且稳定的时间段T在预定时间段内。

在进一步的实施例中，所述预定压力值区间设置为压力值波动范围≤5%，预定时间段设置为5s-10s。

在进一步的实施例中，当T小于预定时间段最小值时，当所述实时压力值集合出现多个元素波动不属于预定压力值区间内时，则重计时间T，如此反复，直至T属于预定时间段内。

在进一步的实施例中，所述吹扫启动环境至少包括以下参数：抽空装置工作状态、吹扫气体量、以及吹扫时间。

在进一步的实施例中，所述吹扫启动程序具体包括以下流程：

S1、启动抽空装置，抽空装置处于满运行状态，对所述腔体进行抽气，控制腔体内压力值在0-3000mtorr范围内，预定抽气时间不低于15s后，关闭抽空装置；

S2、将吹扫气体充入腔体内，吹扫气体量设定为不大于MFC量程，吹扫气体用于稀释腔体内的特气以及对腔体回压；

S3、再次启动抽空装置，抽空装置处于满运行状态，对所述腔体进行抽气，并同时持续充入吹扫气体，实现边充气边抽气状态。

在进一步的实施例中，所述S3步骤中，控制腔体内压力值在0-3000mtorr范围内；吹扫气体量设定为不大于MFC量程；持续充入吹扫气体时间设定为在10s-120s范围内。

在进一步的实施例中，所述吹扫启动程序结束后，关闭抽空装置停止抽气，向所述腔体内充入惰性气体，惰性气体对腔体回压。