[发明专利]气浮承载设备

权利要求书

1.一种气浮承载设备，其特征在于，包括：

承载层；

间隔层，连接在所述承载层的一侧；

气路连接层，连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧；

其中，所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层之间形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道和第二气压通道；所述第一气压通道和所述第二气压通道分别从所述承载层上远离所述气路连接层的一侧依次穿过所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层，并延伸到所述气路连接层上远离所述承载层的一侧。

2.如权利要求1所述的气浮承载设备，其特征在于，

所述承载层包括远离所述气路连接层的承载面，所述承载面上设置有多个第一气孔、多个第二气孔，所述承载层上邻近所述间隔层且与所述承载面相对的一侧上还设置有第一主导气管和多个第一支导气管，所述多个第一支导气管一一对应连通所述多个第二气孔；

所述间隔层与所述承载层形成有第一空腔，所述第一空腔分别连通所述多个第一气孔和所述第一主导气管；所述间隔层上还设置有第一主导气管过孔和多个第一支导气管过孔，所述第一主导气管穿过所述第一主导气管过孔，所述多个第一支导气管穿过所述第一支导气管过孔；

所述气路连接层与所述间隔层形成有第二空腔，所述第一支导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层上邻近所述间隔层的一侧上还设置有第二主导气管，所述第二主导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层还设置有第二主导气管过孔，所述第一主导气管贯穿所述第二主导气管过孔；

其中，所述第一气压通道包括所述多个第一气孔、所述第一空腔和所述第一主导气管，所述第二气压通道包括所述多个第二气孔、所述多个第一支导气管、所述第二空腔和所述第二主导气管。

3.如权利要求2所述的气浮承载设备，其特征在于，所述承载面的形状为圆形；所述多个第一气孔和所述多个第二气孔在所述承载面上相互交替设置、且形成以所述承载面的轴线为中心呈圆环形分布的多圈气压孔；所述多圈气压孔包括靠近所述承载面边缘的外圈气压孔和靠近所述承载面的轴线的内圈气压孔，所述外圈气压孔的气孔密度大于所述内圈气压孔的气孔密度。

4.如权利要求2所述的气浮承载设备，其特征在于，所述气浮承载设备还包括气路控制部件，所述气路控制部件连接在所述气路连接层上远离所述承载层的一侧；所述气路控制部件包括：

气路连接体，连接在所述气路连接层上、且设置有第一气路接入通道和第二气路接入通道，所述第一气路接入通道连通所述第一主导气管，所述第二气路接入通道连通所述第二主导气管；

第一连接管，连通所述第一气路接入通道；以及

第二连接管，连通所述第二气路接入通道。

5.如权利要求4所述的气浮承载设备，其特征在于，所述第一气路接入通道包括第一纵向接入孔和第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔连通所述第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔还连通所述第一主导气管；

所述第二气路接入通道包括第二纵向接入孔和第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔连通所述第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔还连通所述第二主导气管；

所述气路控制部件还包括第一压力调节阀和第二压力调节阀，所述第一压力调节阀连通所述第一纵向接入孔，所述第二压力调节阀连通所述第二纵向接入孔。

6.如权利要求1所述的气浮承载设备，其特征在于，所述承载面的中部设置有安装孔，所述间隔层的中部设置有与所述安装孔相连通且贯穿所述间隔层的第一定位孔，所述气路连接层的中部设置有与所述第一定位孔相连通且贯穿所述气路连接层的第二定位孔；

所述气浮承载设备还包括翘曲矫正结构，所述翘曲矫正结构包括：

矫正盘，固定在所述安装孔内且设置有第一矫正气压通道；

导气件，连接所述矫正盘且设置在所述第一定位孔和所述第二定位孔内，所述导气件设置有第二矫正气压通道，所述第二矫正气压通道连通所述第一矫正气压通道；以及

气路控制部件，连接在所述气路连接层远离所述承载面的一侧上，所述气路控制部件设置有第三矫正气压通道，所述第三矫正气压通道连通所述第二矫正气压通道。