[发明专利]一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：连接导向机构，配重导向机构，阴极丝以及磁场发生机构；所述连接导向机构包括：连接管，导体固定件，以及绝缘连接件；所述导体固定件设置在所述连接管的内部，所述绝缘连接件设置在所述连接管的一端端口处，且所述绝缘连接件与所述导体固定件连接；所述导体固定件的内部设有第一连接穿孔，所述绝缘连接件的内部设有第二连接穿孔，所述阴极丝的一端穿设于所述第一连接穿孔与所述第二连接穿孔中，并固定在所述导体固定件上；所述配重导向机构包括：导向管以及配重件；所述配重件可滑动的设置在所述导向管中，所述配重件上设有固定位，所述阴极丝的另一端连接于所述固定位；所述连接管的另一端用于连接被镀管道的一端，所述导向管用于连接被镀管道的另一端，所述磁场发生机构设置在被镀管道的外侧，用于产生平行于阴极丝的磁场；所述阴极丝、第一连接穿孔、第二连接穿孔、导向管、固定位均同轴。

2.如权利要求1所述的用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，还包括：

第一观察窗组件，所述第一观察窗组件包括：第一过渡连接管以及第一观察件；所述第一过渡连接管具有第一过渡连接通道，所述第一观察件具有第一观察通道，所述第一观察件连接在所述第一过渡连接管上，所述第一观察通道与所述第一过渡连接通道连通；所述第一过渡连接管的一端与所述绝缘连接件连接，所述第一过渡连接管的另一端用于与被镀管道的一端连接；

第二观察窗组件，所述第二观察窗组件包括：第二过渡连接管以及第二观察件；所述第二过渡连接管具有第二过渡连接通道，所述第二观察件具有第二观察通道，所述第二观察件连接在所述第二过渡连接管上，所述第二观察通道与所述第二过渡连接通道连通；所述第二过渡连接管的一端与所述导向管的一端连接，所述第二过渡连接管的另一端用于与被镀管道的另一端连接。

3.如权利要求2所述的用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，还包括：

第一屏蔽管，所述第一屏蔽管穿设于所述第一过渡连接通道、所述第一连接穿孔与所述第二连接穿孔中，且所述第一屏蔽管固定在所述导体固定件上，所述阴极丝的一端穿设于所述第一屏蔽管；

第二屏蔽管，所述第二屏蔽管穿设于所述第二过渡连接通道，且所述第二屏蔽管与所述配重件固定连接；所述阴极丝的另一端穿设于所述第二屏蔽管。

4.如权利要求3所述的用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，

所述第一屏蔽管的长度大于所述第一过渡连接管的长度，且所述第一屏蔽管的两端分别延伸至所述第一过渡连接管的两端外侧；

所述第二屏蔽管的长度大于所述第二过渡连接管的长度，且所述第二屏蔽管的两端分别延伸至所述第二过渡连接管的两端外侧。

5.如权利要求2所述的用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，

所述第一观察窗组件还包括：第一观察窗，所述第一观察窗设置在所述第一观察通道中；

所述第二观察窗组件还包括：第二观察窗，所述第二观察窗设置在所述第二观察通道中。

6.如权利要求1所述的用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，还包括：

第一进气出气组件，包括：第一连接管道以及第一进气管道；所述第一连接管道的一端用于连接抽真空装置，所述第一连接管道的另一端连接至所述连接管，所述第一进气管道连接至所述第一连接管道，所述第一进气管道上开设有第一进气口；

第二进气出气组件，包括：第二连接管道以及第二进气管道；所述第二连接管道的一端用于连接抽真空装置，所述第二连接管道的另一端连接至所述导向管，所述第二进气管道连接至所述第二连接管道，所述第二进气管道上开设有第二进气口；所述配重件上设置有导气孔，所述导气孔用于连通所述连接管道与被镀管道。