[发明专利]一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置

说明书

一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，包括：连接导向机构，配重导向机构，阴极丝以及磁场发生机构；连接导向机构包括：连接管，导体固定件，以及绝缘连接件；导体固定件的内部设有第一连接穿孔，绝缘连接件的内部设有第二连接穿孔，阴极丝的一端穿设于第一连接穿孔与第二连接穿孔中，并固定在导体固定件上；配重导向机构包括：导向管以及配重件；配重件可滑动的设置在导向管中，配重件上设有固定位，阴极丝的另一端连接于固定位；磁场发生机构用于套设在被镀管道的外侧。阴极丝的两端分别与连接导向机构和导线配重导向机构连接，并通过连接导向机构和配重导向机构保持阴极丝与细长管道的同轴度，避免阴极丝接触细长管道而导致其短路的现象。

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜装置技术领域，具体涉及一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置。

背景技术

随着现代工业技术的迅速发展，薄膜技术已经成为当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域之一，在新技术革命中，具有举足轻重的作用。管道内表面镀膜技术是其中重要的领域。在工业生产中应用广泛，例如：管道内表面沉积超硬材料提高耐磨性；在加速器领域中，真空盒内表面沉积氮化钛降低二次电子发射系数，沉积非蒸散型吸气剂薄膜(NEG)使真空盒具有抽气能力。

对于常规尺寸管道内表面镀膜，可利用带有永磁铁的阴极或内置一根金属丝进行磁控溅射镀膜，但对于极细管道(直径小于10mm、长度大于500mm)而言，永磁体阴极受尺寸限制无法置入管道内部，内置金属细丝的方式也因易短路的问题。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，以保证阴极丝的同轴度，避免与被镀管道接触，进而不会造成短路。

本申请提供了一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，包括：连接导向机构，配重导向机构，阴极丝以及磁场发生机构；所述连接导向机构包括：连接管，导体固定件，以及绝缘连接件；所述导体固定件设置在所述连接管的内部，所述绝缘连接件设置在所述连接管的一端端口处，且所述绝缘连接件与所述导体固定件连接；所述导体固定件的内部设有第一连接穿孔，所述绝缘连接件的内部设有第二连接穿孔，所述阴极丝的一端穿设于所述第一连接穿孔与所述第二连接穿孔中，并固定在所述导体固定件上；所述配重导向机构包括：导向管，以及配重件；所述配重件可滑动的设置在所述导向管中，所述配重件上设有固定位，所述阴极丝的另一端连接于所述固定位；所述连接管的另一端用于连接被镀管道的一端，所述导向管用于连接被镀管道的另一端，所述磁场发生机构设置在被镀管道的外侧，用于产生平行于阴极丝的磁场；所述阴极丝、第一连接穿孔、第二连接穿孔、导向管、固定位均同轴。

一种实施例中，还包括：

第一观察窗组件，所述第一观察窗组件包括：第一过渡连接管以及第一观察件；所述第一过渡连接管具有第一过渡连接通道，所述第一观察件具有第一观察通道，所述第一观察件连接在所述第一过渡连接管上，所述第一观察通道与所述第一过渡连接通道连通；所述第一过渡连接管的一端与所述绝缘连接件连接，所述第一过渡连接管的另一端用于与被镀管道的一端连接。

第二观察窗组件，所述第二观察窗组件包括：第二过渡连接管以及第二观察件；所述第二过渡连接管具有第二过渡连接通道，所述第二观察件具有第二观察通道，所述第二观察件连接在所述第二过渡连接管上，所述第二观察通道与所述第二过渡连接通道连通；所述第二过渡连接管的一端与所述导向管的一端连接，所述第二过渡连接管的另一端用于与被镀管道的另一端连接。

一种实施例中，还包括：

第一屏蔽管，所述第一屏蔽管穿设于所述第一过渡连接通道、所述第一连接穿孔与所述第二连接穿孔中，且所述第一屏蔽管固定在所述导体固定件上，所述阴极丝的一端穿设于所述第一屏蔽管；

第二屏蔽管，所述第二屏蔽管穿设于所述第二过渡连接通道，且所述第二屏蔽管与所述配重件固定连接；所述阴极丝的另一端穿设于所述第二屏蔽管。

一种实施例中，