[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法

权利要求书

1. 一种液压式金属掩膜版框，其特征在于，包括：

液压框（1），呈矩形，其四周框体的内部具有液体腔（12），四周框体的外侧面上分布有若干活塞孔（13），活塞孔（13）连通所述的液体腔（12）；液压框（1）上还具有至少一个调节孔（14），调节孔（14）与所述的液体腔（12）连通；以及

所述的液体腔（12）被液压介质所填充；以及

所述的活塞孔（13）内均装有与之相适配的活塞推杆（3）；以及

所述的调节孔（14）内连接有用于调节液体腔（12）内部液压的压力调节单元（4）；以及

活动框边（2），具有四组，分别设置在所述液压框（1）的四边上，且均与液压框（1）的上侧面滑动连接，活动框边（2）具有推杆阻挡部（212），推杆阻挡部（212）覆盖于液压框（1）的相应的框体外侧面，所述活塞推杆（3）的外端抵接于所述推杆阻挡部（212）的内侧面。

2.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述的压力调节单元（4）为调节螺丝（4a）；

或者，所述的压力调节单元（4）包括进液接头（4b），进液接头（4b）通过供液管路连接着液压站。

3.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述的调节孔（14）设置于所述液压框（1）框体的上侧面或外侧面。

4.根据权利要求3所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，对应于所述调节孔（14）位置处的所述活动框边（2）上设置有让位缺口（24）。

5.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述液压框（1）的框体上侧面设置有凸起部（15），所述的调节孔（14）设置于所述凸起部（15）上。

6.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述的活塞孔（13）内和/或所述的活塞推杆（3）上设置有密封圈。

7.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述液压式金属掩膜版框的内侧具有蒸镀窗口内侧面（100），蒸镀窗口内侧面（100）包括位于所述液压框（1）内侧的第一斜面（100a）和位于所述活动框边（2）内侧的第二斜面（100b）。

8.根据权利要求7所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述的第一斜面（100a）与所述的第二斜面（100b）位置错开，且第二斜面（100b）相比于第一斜面（100a）更靠近所述液压框（1）的中心。

9.根据权利要求7所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述第一斜面（100a）的倾角为α，所述第二斜面（100b）的倾角为β，β≥α，且倾角β为锐角。

10.根据权利要求1所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述液压框（1）的上侧面设置有若干滑槽（11），位于液压框（1）同一边上的滑槽（11）相互平行；

所述活动框边（2）的下侧面设置有与所述滑槽（11）相适配的若干滑轨（222）；

所述的滑轨（222）滑动连接于相应的所述滑槽（11）内。

11.根据权利要求10所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述滑槽（11）的外端设置有限位部（111）。

12.根据权利要求1至11任一所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述的活动框边（2）包括框边主体（21）和连接板（22），框边主体（21）和连接板（22）通过紧固螺栓（23）可拆卸连接。

13.根据权利要求12所述的液压式金属掩膜版框，其特征在于，所述框边主体（21）的下侧面具有凹槽（213），所述连接板（22）上侧面具有与所述凹槽（213）相适配的凸台（221），所述的凸台（221）卡接于所述的凹槽（213）内。