[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法

说明书

本发明提出的一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法，涉及金属掩膜版领域。液压式金属掩膜版框包括液压框，液压框框体内部具有液体腔，液体腔内填充液压介质，液压框框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆，液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与液体腔连通，调节孔内连接有压力调节单元；还包括四组活动框边，分别设置在液压框的四边上，且均与液压框的上侧面滑动连接，活动框边具有推杆阻挡部，推杆阻挡部覆盖于液压框的相应的框体外侧面，活塞推杆的外端抵接于推杆阻挡部的内侧面。掩膜版组件包括上述液压式金属掩膜版框和金属掩膜版。本发明能够抑制掩膜网面的下垂，提高产品质量。

技术领域

本发明涉及金属掩膜版领域，尤其涉及一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法。

背景技术

OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示装置时普遍采用蒸镀技术，其中金属掩膜版（Metal Mask，简称Mask）可以有效控制有机材料沉积在基板上的位置，在整个OLED显示装置生产工艺中扮演着极其重要的角色。通常，掩膜版组件由金属掩膜版框（Frame）和金属掩膜版组成，后者通过张网焊接结合在前者上。其中，金属掩膜版又包括支撑掩膜（Supporting Mask）、通用金属掩膜版（Common Metal Mask，简称CMM）和精密金属掩膜版（Fine Metal Mask，简称FMM）等。

金属掩膜版经张网焊接与金属掩膜版框结合后，形成掩膜版组件。在以往，制成掩膜版组件后，金属掩膜版的状态便不可人为改变，但是掩膜版受自身重力影响会产生下垂，在蒸镀过程中又由于受热而加剧了这一下垂量，导致其与玻璃基板之间的间距过大，进而致使制备的产品出现阴影等缺陷，严重者会导致掩膜版组件无法继续使用而需要重新更换其中的金属掩膜版。

针对上述问题，亟需寻求一种全新的解决方案。

发明内容

为了至少解决上述现有技术中的问题之一，本发明提供了一种液压式金属掩膜版框，包括：

液压框，呈矩形，其四周框体的内部具有液体腔，四周框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔连通所述的液体腔；液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与所述的液体腔连通；以及

所述的液体腔被液压介质所填充；以及

所述的活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆；以及

所述的调节孔内连接有用于调节液体腔内部液压的压力调节单元；以及

活动框边，具有四组，分别设置在所述液压框的四边上，且均与液压框的上侧面滑动连接，活动框边具有推杆阻挡部，推杆阻挡部覆盖于液压框的相应的框体外侧面，所述活塞推杆的外端抵接于所述推杆阻挡部的内侧面。

更进一步地，所述的压力调节单元为调节螺丝；

或者，所述的压力调节单元包括进液接头，进液接头通过供液管路连接着液压站。

更进一步地，所述的调节孔设置于所述液压框框体的上侧面或外侧面。

更进一步地，对应于所述调节孔位置处的所述活动框边上设置有让位缺口。

更进一步地，所述液压框的框体上侧面设置有凸起部，所述的调节孔设置于所述凸起部上。

更进一步地，所述的活塞孔内和/或所述的活塞推杆上设置有密封圈。

更进一步地，所述液压式金属掩膜版框的内侧具有蒸镀窗口内侧面，蒸镀窗口内侧面包括位于所述液压框内侧的第一斜面和位于所述活动框边内侧的第二斜面。

更进一步地，所述的第一斜面与所述的第二斜面位置错开，且第二斜面相比于第一斜面更靠近所述液压框的中心。

更进一步地，所述第一斜面的倾角为α，所述第二斜面的倾角为β，β≥α，且倾角β为锐角。