[发明专利]一种晶圆用化学镀镍液及其制备方法

权利要求书

1.一种晶圆用化学镀镍液的制备方法，其特征在于，所述晶圆用化学镀镍液的制备方法如下：在84～86℃下，将硫酸镍、次磷酸钠、4-戊基邻苯二甲腈、4-(2-甲酸基-3-丙酸基)邻苯二甲腈、8,9-二氨基苯并噻唑、催化剂1,8-二氮杂二环[5.4.0]十一碳-7-烯和水按质量比1：0.5：2.8：1.3：1.5：0.015：800～1：0.6：2.9：1.4：1.6：0.016：1200混合，以200～300r/min搅拌30～40min，以60～80滴/min滴加质量分数为20～30％的氢氧化钠溶液，调节pH至5～5.4，继续搅拌搅拌30～40min，制备得到晶圆用化学镀镍液。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆用化学镀镍液的制备方法，其特征在于，所述4-戊基邻苯二甲腈的制备方法如下：在0～5℃下，将4-戊基邻苯二甲酰胺和二甲基甲酰胺混合液按质量比1：10.5～1：11.5混合，以1200～1300r/min搅拌4～6h，随后在常温下静置11～12h，用-4～0℃的去离子水洗涤2～3次，抽滤，用去离子水洗涤1～3次，在10～20Pa、20～30℃下烘2～3h，制备得到4-戊基邻苯二甲腈，进一步的，所述二甲基甲酰胺混合液的制备方法如下：在-4～0℃下，将二氯亚砜、二甲基甲酰胺按质量比1：0.75～1：0.8混合，以1200～1300r/min搅拌1.5～2.5h，制备得到二甲基甲酰胺混合液。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆用化学镀镍液的制备方法，其特征在于，所述4-戊基邻苯二甲酰胺的制备方法如下：在24～26℃、氩气保护条件下，将4-戊基邻苯二甲酰亚胺和质量分数为26～28％的氨水按质量比1：23～1：24混合，以1200～1300r/min搅拌47～49h，过滤，用去离子水洗涤1～3次，在10～20Pa、20～30℃下烘2～3h，制备得到4-戊基邻苯二甲酰胺，进一步的，所述4-戊基邻苯二甲酰亚胺的制备方法如下：在135～140℃、氩气保护条件下，将4-戊基邻苯二甲酸酐、甲酰胺按质量比1：1.5～1：1.55混合，以1200～1300r/min搅拌回流3～4h后，自然冷却至室温，抽滤，用去离子水洗涤1～3次，在10～20Pa、20～30℃下烘2～3h，制备得到4-戊基邻苯二甲酰亚胺。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆用化学镀镍液的制备方法，其特征在于，所述4-(2-甲酸基-3-丙酸基)邻苯二甲腈的制备方法如下：在24～26℃下，将氯化镍和乙醚按质量比1：10～1：12混合，以1200～1300r/min搅拌20～30min，制备得到氯化镍混合液；在0.5～0.6MPa、120～140℃和氩气保护条件下，将2-甲酸基-3-丙烯酸、邻苯二甲腈、乙醚按质量比1：0.7：10～1：0.8：11混合，以1200～1300r/min搅拌20～30min后，以60～80滴/min滴加2-甲酸基-3-丙烯酸质量0.05～0.06倍的氯化镍混合液，继续搅拌回流5～6h，制备得到4-(2-甲酸基-3-丙酸基)邻苯二甲腈。