[发明专利]一种玻璃基板的BGA工艺器件制作方法在审

专利信息
申请号: 202210378573.2 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN114823353A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 张晟;赵文忠;刘志丹;金星;陈帅;张飞 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十研究所
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 金凤
地址: 710068 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 bga 工艺 器件 制作方法
【说明书】:

发明提供了一种玻璃基板的BGA工艺器件制作方法,透过玻璃基板可以看到工艺器件的BGA焊球,不需要高端设备即可人工观测到BGA器件底部,可作为用于研究BGA回流焊接过程的工艺器件,也可作为研究BGA底部填充绝缘胶的工艺器件,既能节省试验成本,又能完整的观察整个实验过程,便于工艺试验分析。本发明用于印制板电子装联表面贴装回流焊接效果判断,分析回流焊接温度曲线的合理性,及时调整并修正印制板回流焊接曲线,节省了高端X光机的设备检测费用,既能节省试验成本,又能完整的观察整个实验过程,便于工艺试验分析,极大地的降低了高端的专用设备的检测费用,工艺试验成本也得到降低。

技术领域

本发明涉及电子元器件领域,涉及一种玻璃基板的BGA工艺器件制作方法。

背景技术

随着集成电路封装技术的迅速发展,BGA(球栅阵列)封装器件应用越来越广泛。BGA封装是以底部的阵列焊球作为信号的传输端,焊球与印制板的焊接质量显著影响电路的性能。为了BGA器件的可靠性与抗震性,会选择在其底部填充导热绝缘胶。与电路设计工程师相比,SMT(表面贴装)工艺工程师更关注BGA器件的回流焊接过程,及导热绝缘胶的填充效果,从成本方面考虑,工艺工程师会选择BGA工艺器件进行SMT工艺试验。BGA工艺器件与常规BGA器件相比,封装结构、外观、材质一致,只是不具备具体的电学性能。采用常规的工艺器件进行工艺试验后,需要对工艺器件进行检测分析,例如通过X光检测BGA焊接质量,通过CT检测BGA器件底部填充胶质量。检测需要使用高端的专用设备,导致工艺试验成本高。检测的只能是最终结果,没有办法实时观察到BGA的焊接过程及BGA底部绝缘胶的填充过程,因此需要一种工艺器件能够实时观测到BGA器件底部导热绝缘胶的填充过程。

发明内容

为了克服现有技术的不足,本发明提供一种玻璃基板的BGA工艺器件制作方法。透过玻璃基板可以看到工艺器件的BGA焊球,不需要高端设备即可人工观测到BGA器件底部,可作为用于研究BGA回流焊接过程的工艺器件,也可作为研究BGA底部填充绝缘胶的工艺器件,既能节省试验成本,又能完整的观察整个实验过程,便于工艺试验分析。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案包括以下步骤:

步骤1:准备所需的玻璃基板,玻璃基板为耐高温、高透光玻璃,耐高温是耐温大于300℃,高透光指透光率大于90%,依次采用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗玻璃基板,清洗方法为超声清洗,依次清洗完毕后,一次烘干;

步骤2:用物理气相沉积的方式在玻璃基板的一个表面生成一层金属铜;

步骤3:用电镀方式将步骤2中物理气相沉积的金属铜加厚至18~25μm;

步骤4:在金属铜上涂覆一层光敏固化材料,依次通过图形转移胶片、紫外曝光、显影,使感光材料固化部位覆盖住金属铜;再化学蚀刻露出未感光的金属铜,最后退膜,去除覆盖图形金属铜上的光敏固化材料,露出玻璃基板上的金属铜;

步骤5:在金属铜上用电镀的方式先镀镍层,再镀金层;

步骤6:在金层表面植放BGA器件专用焊锡球,将玻璃基板回流加热至高于焊锡料球熔化温度30~40℃后,再冷却至室温;

步骤7:在所述玻璃基板上丝印文字、商标和零件标号;

步骤8:用铣刀或切割刀轮或激光沿外形尺寸方向切割玻璃基板为单独BGA工艺器件,切割方向为BGA工艺器件的四周外形尺寸边缘,对所述BGA工艺器件边缘打磨、抛光,去掉多余的尖角、棱边,即可完成玻璃基BGA工艺器件的制作。

所述步骤2中,金属铜的厚度为0.3~1μm,物理气相沉积采用靶材为纯度大于99.9%的铜,物理气相沉积采用的气体为纯度大于99.99%的氩气Ar。

所述步骤4中,光敏固化材料为感光胶或感光油墨。

所述步骤5中,镍层厚度为3~5μm,金层厚度为0.05~0.1μm。

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