[发明专利]一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210382441.7 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114701228A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李丹丹 | 申请（专利权）人： | 芊惠半导体科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B32B27/20;B32B27/08;C08L23/08;C08L23/06;C08L23/14;C08L23/10;C08J5/18;C09J7/29;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张金铭 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 晶圆划 裂片 环保 基材 及其 制备 方法 | ||
1.一种聚烯烃薄膜，其特征在于，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
所述第一表层主要由以下组分制备而成：
共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂；
所述第二表层主要由以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。
2.根据权利要求1所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯30-75份、聚丙烯基弹性体25-70份以及爽滑剂1-10份。
3.根据权利要求1所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物70-90份和高压低密度聚乙烯10-30份。
4.根据权利要求1-3任一项所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；
优选地，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份。
5.一种权利要求1-3任一项所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层的厚度为50-100微米，优选为50-60微米；
优选地，所述第二表层的厚度为15-75微米，优选为30-40微米。
6.一种权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
混合第一表层的组分，得到第一表层物料；
混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
将第一表层物料和第二表层物料流延成型，得到所述聚烯烃薄膜。
7.一种晶圆裂片用保护膜，其特征在于，包括基材层和粘结胶层；
所述基材层的材料包括权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜；
其中，所述粘结胶层设置于所述聚烯烃薄膜的第二表层上。
8.根据权利要求7所述的晶圆裂片用保护膜，其特征在于，所述粘结胶层的厚度为20-60微米，优选为20-30微米。
9.一种权利要求7或8所述的晶圆裂片用保护膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将粘结胶涂覆于所述聚烯烃薄膜的第二表层上，得到所述晶圆裂片用保护膜。
10.一种权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜在晶圆或滤光片裂片中的应用。
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