[发明专利]一种用于电子部件加工用光刻装置及方法

权利要求书

1.一种用于电子部件加工用光刻装置，包括光刻机本体(42)，所述光刻机本体(42)上安装在底座(1)上，其特征在于，还包括：

垂直安装于所述底座(1)上的立轴(15)，所述立轴(15)上滑动设置有升降套筒(8)，所述升降套筒(8)的内壁上固定安装有凸起(20)，所述凸起(20)与设置在所述立轴(15)上的轨道(16)滑动配合，所述立轴(15)上的上端部还固定安装有横杆(17)，所述横杆(17)与吸附组件适配，所述吸附组件通过联板(9)与所述升降套筒(8)固定连接，且所述吸附组件与设置在所述底座(1)上的承接组件适配；

所述底座(1)上还设置有动力组件，所述动力组件同安装在所述底座(1)上的往复组件连接，所述往复组件可驱使所述升降套筒(8)在所述立轴(15)上运动，所述动力组件还连接设置在所述底座(1)上的传输组件；

所述传输组件的上部设置有用于对电子部件进行清理的送风组件，所述送风组件通过安装架(28)与所述底座(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述吸附组件包括安装在所述联板(9)上的吸盘(11)，所述吸盘(11)与设置在所述联板(9)上的缸体(10)连接并导通，所述缸体(10)内滑动设置有密封塞(12)，所述密封塞(12)与贯穿所述缸体(10)设置的一号立杆(14)固定连接，所述一号立杆(14)与所述横杆(17)适配，且所述一号立杆(14)上套设有一号弹簧(13)，所述一号弹簧(13)的一端与所述缸体(10)连接，另一端与所述缸体(10)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述承接组件包括对称安装在所述底座(1)上的两个二号立杆(39)，所述二号立杆(39)上滑动设置有用于装载电子部件的承接台(40)，且在所述二号立杆(39)上套设有二号弹簧(41)，所述二号弹簧(41)的一端与所述承接台(40)连接，另一端与所述底座(1)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述动力组件包括固定安装在所述底座(1)上的一号驱动装置(2)，所述一号驱动装置(2)的输出轴通过传动链连接所述往复组件，且所述一号驱动装置(2)的输出轴与设置在所述底座(1)上的马耳他十字机芯结构连接，所述马耳他十字机芯结构通过一号皮带(23)连接设置在所述底座(1)上的锥齿轮组(24)，所述锥齿轮组(24)通过二号皮带(25)与所述传输组件连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述马耳他十字机芯结构包括转动安装在所述底座(1)上并与所述一号驱动装置(2)的输出轴连接的主动轮(21)，所述主动轮(21)与转动安装在所述底座(1)上的从动轮(22)适配，所述从动轮(22)与所述一号皮带(23)连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述往复组件包括通过所述传动链与所述一号驱动装置(2)的输出轴连接的转盘(3)，所述转盘(3)的偏心位置处转动安装有滑轮(4)，所述滑轮(4)与设置在所述底座(1)上的往复件(5)滚动配合，所述往复件(5)通过支撑杆(6)连接与所述升降套筒(8)转动连接的连接环(7)；

所述往复件(5)上对称安装有两个滑动套筒(18)，所述滑动套筒(18)与安装在所述底座(1)上的导向杆(19)滑动连接。

7.根据权利要求4所述的一种用于电子部件加工用光刻装置，其特征在于，所述传输组件包括对称转动安装在所述底座(1)上的两个传动辊(26)，两个所述传动辊(26)上套设有传输带(27)，且其中一个所述传动辊(26)通过所述二号皮带(25)连接所述锥齿轮组(24)。