[发明专利]一种用于电子部件加工用光刻装置及方法

说明书

本发明涉及一种用于电子部件加工用光刻装置及方法,包括光刻机本体，所述光刻机本体上安装在底座上，还包括安装于所述底座上的立轴，所述立轴上设置有升降套筒，所述升降套筒的内壁上固定安装有凸起，所述凸起与设置在所述立轴上的轨道滑动配合，所述立轴上的上还固定安装有横杆，所述横杆与吸附组件适配，且所述吸附组件与承接组件适配，所述底座上还设置有动力组件，所述动力组件同安装在所述底座上的往复组件连接，所述动力组件还连接设置在所述底座上的传输组件，所述传输组件的上部设置有用于对电子部件进行清理的送风组件，所述送风组件通过安装架与所述底座连接，实现在光刻机工作的过程中，进行机械化的上料方式，降低人工成本。

技术领域

本发明涉及一种光刻机领域，具体是一种用于电子部件加工用光刻装置及方法。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

在光刻机的使用过程中，需要将待光刻的电子部件置于光刻机的下方，在批量生产的过程中，需要单独安排一个人去配合光刻机，向其中置放待光刻的电子部件，使得在人力资源方面上产生了一定的浪费，同时电子部件在进行光刻前，需要对其进行清理，避免其表面的灰尘影响光刻效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于电子部件加工用光刻装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于电子部件加工用光刻装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体上安装在底座上，还包括：

垂直安装于所述底座上的立轴，所述立轴上滑动设置有升降套筒，所述升降套筒的内壁上固定安装有凸起，所述凸起与设置在所述立轴上的轨道滑动配合，所述立轴上的上端部还固定安装有横杆，所述横杆与吸附组件适配，所述吸附组件通过联板与所述升降套筒固定连接，且所述吸附组件与设置在所述底座上的承接组件适配；

所述底座上还设置有动力组件，所述动力组件同安装在所述底座上的往复组件连接，所述往复组件可驱使所述升降套筒在所述立轴上运动，所述动力组件还连接设置在所述底座上的传输组件；

所述传输组件的上部设置有用于对电子部件进行清理的送风组件，所述送风组件通过安装架与所述底座连接。

作为本发明进一步的方案：所述吸附组件包括安装在所述联板上的吸盘，所述吸盘与设置在所述联板上的缸体连接并导通，所述缸体内滑动设置有密封塞，所述密封塞与贯穿所述缸体设置的一号立杆固定连接，所述一号立杆与所述横杆适配，且所述一号立杆上套设有一号弹簧，所述一号弹簧的一端与所述缸体连接，另一端与所述缸体连接。

作为本发明再进一步的方案：所述承接组件包括对称安装在所述底座上的两个二号立杆，所述二号立杆上滑动设置有用于装载电子部件的承接台，且在所述二号立杆上套设有二号弹簧，所述二号弹簧的一端与所述承接台连接，另一端与所述底座连接。

作为本发明再进一步的方案：所述动力组件包括固定安装在所述底座上的一号驱动装置，所述一号驱动装置的输出轴通过传动链连接所述往复组件，且所述一号驱动装置的输出轴与设置在所述底座上的马耳他十字机芯结构连接，所述马耳他十字机芯结构通过一号皮带连接设置在所述底座上的锥齿轮组，所述锥齿轮组通过二号皮带与所述传输组件连接。

作为本发明再进一步的方案：所述马耳他十字机芯结构包括转动安装在所述底座上并与所述一号驱动装置的输出轴连接的主动轮，所述主动轮与转动安装在所述底座上的从动轮适配，所述从动轮与所述一号皮带连接。

作为本发明再进一步的方案：所述往复组件包括通过所述传动链与所述一号驱动装置的输出轴连接的转盘，所述转盘的偏心位置处转动安装有滑轮，所述滑轮与设置在所述底座上的往复件滚动配合，所述往复件通过支撑杆连接与所述升降套筒转动连接的连接环；