[发明专利]一种电网电晕监测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202210391280.8 申请日: 2022-04-14
公开(公告)号: CN114744060B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 郭道友;赵天丽;邓李朋;钱松程;邢志文;王顺利 申请(专利权)人: 浙江理工大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/0336;H01L31/109;H01L31/0224;H01L31/18;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 杭州敦和专利代理事务所(普通合伙) 33296 代理人: 姜术丹
地址: 310000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 电网 电晕 监测器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种电网电晕监测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一、将FTO衬底(1)依次浸泡到丙酮、乙醇、去离子水中各超声10分钟,取出后再用去离子水冲洗,用干燥的氮气吹干;

步骤二、取浓度为10-15 g/L的Ga(NO3)3溶液置于反应釜内胆中,然后将步骤一中用干燥的氮气吹干后的所述FTO衬底(1)斜靠在反应釜内胆中,并浸没于Ga(NO3)3溶液中,其中氟掺杂氧化锡层(2)朝向所斜靠的反应釜内胆一侧;

步骤三、将步骤二中的所述反应釜转移至烘箱中,在150 °C下反应12 h,随后取出FTO衬底(1),用去离子水和无水乙醇交替清洗次,烘干后在高温炉中400-500 °C先退火3.0-4.0小时,得到α-Ga2O3纳米柱阵列,然后将高温炉快速升温至700-800 °C,并继续退火10-20分钟,获得α/β-Ga2O3相结纳米柱阵列(4);

步骤四、在步骤三中得到的所述α/β-Ga2O3相结纳米柱阵列(4)上分别旋涂覆盖一层Ti3C2和银纳米线溶液,并在90°C下真空干燥箱中烘干,制作Ti3C2/Ag纳米线复合层(5);

步骤五、在步骤四中所得的所述Ti3C2/Ag纳米线复合层(5)上方沉积一滴银胶作为上电极,即Ag电极(6),刮去FTO衬底(1)边缘表面部分,露出氟掺杂氧化锡层(2)表面,作为下电极。

2.根据权利要求1所述的一种电网电晕监测器的制备方法,其特征在于,步骤三中的所述将高温炉快速升温至700-800 °C的快速升温时间为5-10分钟。

3.根据权利要求1所述的一种电网电晕监测器的制备方法,其特征在于,步骤四中的所述银纳米线溶液的浓度为0.5-1.0 mol/L,所述Ti3C2的浓度为25mg/L。

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