[发明专利]一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置及化学蚀刻装置

权利要求书

1.一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：包含第一电机（3）、第一安装座（4）、基座（7）、曲柄回转机构（8）和夹持装置（15）；

所述曲柄回转机构（8）包含曲柄（81）、连杆、摇杆（83）和支撑杆（84）；所述夹持装置（15）包含第二电机（1）、第二安装座（2）、锁紧套组件（K）和夹持组件（S）；

所述第一电机（3）为带有编码器的直流电机，第一电机（3）安装在第一安装座（4）上，第一安装座（4）固定在基座（7）上，曲柄（81）可转动地设置在基座（7）上，支撑杆（84）垂直设置在基座（7）上，支撑杆（84）的一端固定在基座（7）上，支撑杆（84）的另一端与摇杆（83）的一端转动连接，连杆的一端与曲柄（81）转动连接，连杆的另一端与摇杆（83）转动连接，第二安装座（2）固定在摇杆（83）的另一端，第二电机（1）固定在第二安装座（2）上，用于固定熔融石英半球谐振子（5）的夹持组件（S）固定在锁紧套组件（K）上，所述锁紧套组件（K）包含套筒（31）和套筒过渡件（32），所述夹持组件（S）包含夹持杆（33）和夹持过渡件（34）；套筒（31）的一端与套筒过渡件（32）可拆卸连接，夹持杆（33）与夹持过渡件（34）可拆卸连接，夹持杆（33）和夹持过渡件（34）布置在套筒（31）内，夹持过渡件（34）与套筒过渡件（32）相连，锁紧套组件（K）固定在第二电机（1）的输出轴上，所述锁紧套组件（K）和夹持组件（S）中与蚀刻药品池内的蚀刻液直接接触的部件为抗腐蚀性材质。

2.根据权利要求1所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：套筒（31）和夹持杆（33）的材质均为聚四氟乙烯。

3.根据权利要求1所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：套筒过渡件（32）和夹持过渡件（34）的材质均为不锈钢。

4.根据权利要求1所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：套筒过渡件（32）包含一体制成的固定件A（32-1）和固定件B（32-2），固定件A（32-1）与固定件B（32-2）呈阶梯式布置，套筒（31）插装在固定件A（32-1）上，固定件B（32-2）与第二电机（1）的输出轴相连。

5.根据权利要求4所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：夹持过渡件（34）包含一体制成的连接件（34-1）和圆柱件（34-2），连接件（34-1）具有插槽，圆柱件（34-2）加工有一个螺纹孔B（34-21），夹持杆（33）的一端插在插槽内并通过第一螺丝（D）固定，固定件A（32-1）上开有第一中心孔（32-11），固定件B（32-2）上开有第二中心孔（32-21），固定件A（32-1）与固定件B（32-2）之间的连接层开有螺纹孔A（32-31），第一中心孔（32-11）、第二中心孔（32-21）和螺纹孔A（32-31）同轴设置，圆柱件（34-2）插在固定件A（32-1）的第一中心孔（32-11）内，圆柱件（34-2）通过置于第二中心孔（32-21）内并旋紧在螺纹孔A（32-31）和螺纹孔B（34-21）上的第二螺丝（E）固定。

6.根据权利要求5所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：所述夹持杆（33）的另一端设有周向均匀布置的具有弹性的用于固定熔融石英半球谐振子的多个卡爪（33-1）。

7.根据权利要求6所述一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置，其特征在于：固定件A（32-1）侧壁开有对称布置的两个螺纹孔C（32-12），套筒（31）的侧壁开有对称布置的两个通孔（31-11），套筒（31）与固定件A（32-1）通过旋拧在螺纹孔C（32-12）和通孔（31-11）内的第三螺丝（G）固定。