[发明专利]导电层、太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种导电层，其特征在于，包括层叠设置的第一TCO层、第二TCO层、第三TCO层及第四TCO层；

所述第一TCO层在第一气氛下制备，所述第一气氛为氩气及氢气的混合气体；

所述第二TCO层在第二气氛下制备，所述第二气氛为氩气、氢气及氧气的混合气体，在所述第二TCO层的制备过程中，所述氢气的分压梯度降低且所述氧气的分压梯度增加；

所述第三TCO层在第三气氛下制备，所述第三气氛为氩气及氧气的混合气体；

所述第四TCO层在第四气氛下制备，所述第四气氛为氩气及氧气的混合气体，且在所述第四TCO层的制备过程中，所述氧气的分压梯度降低；

所述第三气氛中氧气的分压不低于所述第二气氛中氧气的分压最大值及所述第四气氛中氧气的分压最大值。

2.根据权利要求1所述的导电层，其特征在于，所述第一气氛中氢气的分压恒定；

及/或，所述第三气氛中氧气的分压恒定。

3.根据权利要求1所述的导电层，其特征在于，所述第一TCO层的厚度为2nm～6nm；

及/或，所述第二TCO层的厚度为4nm～10nm；

及/或，所述第三TCO层的厚度为80nm～100nm；

及/或，所述第四TCO层的厚度为5nm～10nm。

4.根据权利要求1所述的导电层，其特征在于，所述第一气氛中氢气的分压为2％～5％；

及/或，所述第二气氛中，氢气的分压为0～5％，氧气的分压为0～5％；

及/或，所述第三气氛中，氧气的分压为3％～5％；

及/或，所述第四气氛中，氧气的分压为0～3％。

5.根据权利要求1所述的导电层，其特征在于，所述第二气氛中氢气的分压降低的速率为0.1％/s～0.3％/s；及/或，所述第二气氛中氧气的分压增加的速率为0.2％/s～0.4％/s。

6.根据权利要求1所述的导电层，其特征在于，所述第四气氛中氧气的分压降低的速率为0.1％/s～0.2％/s。

7.根据权利要求1～6任一项所述的导电层，其特征在于，所述导电层的材料选自氧化铟锡、氧化锌及掺钨氧化铟中的一种。

8.权利要求1～7任一项所述的导电层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在所述第一气氛下制备所述第一TCO层；

在所述第二气氛下于所述第一TCO层的表面制备所述第二TCO层；

在所述第三气氛下于所述第二TCO层的表面制备所述第三TCO层；

在所述第四气氛下于所述第三TCO层的表面制备所述第四TCO层。

9.根据权利要求8所述的导电层的制备方法，其特征在于，所述第一TCO层、所述第二TCO层、所述第三TCO层及所述第四TCO层均采用物理气相沉积工艺制备。

10.一种太阳能电池，其特征在于，包括权利要求1～7任一项所述的导电层。

11.根据权利要求10所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池为异质结电池，包括：硅基片、所述导电层及金属电极；所述导电层设于所述硅基片的至少一个表面；所述金属电极设于所述导电层远离所述硅基片的表面；所述导电层中的所述第一TCO层靠近所述硅基片设置。