[发明专利]适用于压电谐振器的数据处理方法及装置

说明书

本发明提供一种适用于压电谐振器的数据处理方法及装置，包括：对用户主动配置的标准设计数据进行存储，为所述标准设计数据添加相对应的设计属性信息；基于所接收到的横向模抑制系数，对所述标准设计数据进行调整生成相对应的调整设计数据；将所述调整设计数据和标准设计数据比对得到设计变化信息；获取所述设计属性信息中的标准补偿函数，根据所述设计变化信息和标准补偿函数确定与所述调整设计数据相对应的调整补偿函数；根据所述调整设计数据和调整补偿函数对预先存的设计信息映射表进行更新，基于更新后的设计信息映射表在数据库中建立相应的存储单元；将所述调整设计数据和所述调整补偿函数存储于数据库新建立的存储单元内。

技术领域

本发明涉及数据处理、半导体技术领域，尤其涉及一种适用于压电谐振器的数据处理方法及装置。

背景技术

随着5G通讯技术的快速发展，人们对于对高频滤波器件性能指标要求也越来越高，特别是在手机射频终端领域，滤波器的使用量大幅增加，谐振器作为声表面波滤波器的核心，其频率、机电耦合系数和Q值等参数都对滤波器的性能起着十分关键的作用。

近年来关于谐振器的研究，使谐振器同时具有高频、高机电耦合系数和高Q值（品质因数），而且以硅基为衬底的谐振器更容易与其他器件一起集成到智能手机的前端模块中。但是在TC-SAW，IHP-SAW等器件中存在和横向谐振，会在谐振频率附近产生寄生响应，引起谐振器导纳曲线上出现波动，同时能量以杂散谐振的形式流失，导致Q值出现大幅度波动。因此，在实际谐振器中对横向谐振模式的抑制是高性能滤波器设计的一个重要问题。

现有技术中抑制横波杂散的方式中一般采用在现有谐振器结构上需要制备额外的结构，往往会增加很多步的工艺，也就意味着需要增加数层光刻版，造成成本大幅度上升，且延长生产周期，同时增加额外结构会对造成谐振器物理结构不稳定的缺点。

基于以上的缺点，申请号为CN108121889A、名称为一种具有横向模抑制效果的声表面波滤波器谐振器结构的中国专利申请，公开了一种具有横向模抑制功能的SAWR结构，通过对结构参数的优化设计可以有效抑制SAWR的横向模，从而实现非常高的品质因素。此高性能声表面波滤波器的谐振器结构是由压电单晶基板、以Al或Cu金属材料为主的叉指电极和反射栅、以Al或Cu金属材料为主的汇流排以及Si基完美匹配层构成。

在上述的中国专利申请中，由于其每个周期内假指区域的金属化比与激励区域的金属化比相同，导致其在进行横向模抑制过程中并无法达到用户想要的抑制效果，所以亟需一种能够根据具有较高横向模抑制效果的谐振器的叉指参数数据处理方法。

发明内容

本发明实施例提供一种适用于压电谐振器叉指参数的数据处理方法及装置，能够根据具用户所需要的横向模抑制得到压电谐振器的相关数据，实现高性能压电谐振器的智能设计与制造。

本发明实施例的第一方面，提供一种适用于压电谐振器的数据处理方法，包括：

对用户主动配置的标准设计数据进行存储，为所述标准设计数据添加相对应的设计属性信息；

基于所接收到的横向模抑制系数，对所述标准设计数据进行调整，生成相对应的调整设计数据；

将所述调整设计数据和标准设计数据比对，得到设计变化信息；

获取所述设计属性信息中的标准补偿函数，根据所述设计变化信息和标准补偿函数确定与所述调整设计数据相对应的调整补偿函数；

根据所述调整设计数据和调整补偿函数对预先存的设计信息映射表进行更新，基于更新后的设计信息映射表在数据库中建立相应的存储单元；

将所述调整设计数据和所述调整补偿函数存储于数据库新建立的存储单元内。

可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，在基于所接收到的横向模抑制系数，对所述标准设计数据进行调整生成相对应的调整设计数据的步骤中，具体包括：