[发明专利]一种背钻孔缺陷检测方法及装置

权利要求书

1.一种背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，包括：

将设置有背钻孔的待测板材置于介质中；

通过超声波对所述待测板材设置有所述背钻孔的一面进行探测，获取背钻孔的第一回波信号，并根据所述第一回波信号获取所述背钻孔的深度；获取背钻孔外围区域的第二回波信号；

通过所述超声波对所述待测板材背离所述背钻孔的一面进行探测，获取背钻孔外围区域的第三回波信号；

根据所述第二回波信号、所述第三回波信号以及目标铜层沿背钻方向的层数，获取所述目标铜层的深度；所述背钻方向为设置有所述背钻孔的一面指向背离所述背钻孔的一面的方向；

将所述背钻孔的深度与所述目标铜层的深度进行比较；若所述背钻孔的深度大于所述目标铜层的深度，则判定所述背钻孔存在缺陷。

2.根据权利要求1所述的背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，所述待测板材的相对背离设置的第一面和第二面均设置有所述背钻孔；

所述背钻孔缺陷检测方法，包括：

获取所述待测板材的背钻孔信息；所述背钻孔信息至少包括背钻孔坐标、背钻方向、目标铜层沿所述背钻方向的层数；

将设置有背钻孔的待测板材置于介质中；

通过超声波对所述待测板材的第一面进行探测，根据所述背钻孔坐标和所述背钻方向，获取所述背钻方向为第一方向的所述背钻孔的深度；所述第一方向为所述第一面指向所述第二面的方向；并根据所述背钻孔坐标，获取所述第一面设置的背钻孔的背钻孔外围区域的第二回波信号；获取所述第二面设置的背钻孔的背钻孔外围区域的第三回波信号；

通过超声波对所述待测板材的第二面进行探测，根据所述背钻孔坐标和所述背钻方向，获取所述背钻方向为第二方向的所述背钻孔的深度；所述第二方向与所述第一方向的方向相反；并根据所述背钻孔坐标，获取所述第一面设置的背钻孔的背钻孔外围区域的第三回波信号；获取所述第二面设置的背钻孔的背钻孔外围区域的第二回波信号；

根据每个背钻孔对应的所述第二回波信号、所述第三回波信号以及目标铜层沿背钻方向的层数，获取每个背钻孔对应的目标铜层的深度；

将每个背钻孔的深度与对应目标铜层的深度进行比较；若所述背钻孔的深度大于所述目标铜层的深度，则判定所述背钻孔存在缺陷。

3.根据权利要求1所述的背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，获取背钻孔的第一回波信号，并根据所述第一回波信号获取所述背钻孔的深度，包括：

获取所述超声波在所述介质中的传播速度；

根据所述第一回波信号获取超声波在所述待测板材设置所述背钻孔的一面产生波峰所对应的时间t01，以及所述超声波在所述背钻孔的底部斜面产生波峰所对应的时间t02；

获取所述背钻孔的深度z＝v0×(t02-t01)。

4.根据权利要求1所述的背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，还包括：获取超声波在待测板材内的传播速度v1。

5.根据权利要求4所述的背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，获取超声波在待测板材内的传播速度v1，包括：

获取待测板材的厚度w；

获取超声波在所述待测板材的无钻孔区域的第四回波信号；

根据所述第四回波信号获取所述超声波在所述待测板材相对背离设置的第一面和第二面产生的波峰所对应的时间t11和t12；

获取所述超声波在所述待测板材内的传播速度v1＝w/|t12-t11|。

6.根据权利要求5所述的背钻孔缺陷检测方法，其特征在于，所述第二回波信号可复用为所述第四回波信号。