[发明专利]一种在线晶圆检测装置和控制系统

权利要求书

1.一种在线晶圆检测装置和控制系统，该装置包括视觉检测工位，其特征是：所述的视觉检测工位包括支架(6)、投屏(4)和工业相机(5)，所述支架(6)从上往下分别设有光源(1)、半透半反镜(2)和承片台(3)，所述投屏(4)设置在支架(6)一侧，工业相机(5)设置在投屏(4)后方；所述的控制系统包括图像采集系统、图像处理系统和动作执行机构；

所述图像采集系统包括光源(1)、半透半反镜(2)、承片台(3)、投屏(4)和工业相机(5)。

2.根据权利要求1所述的一种在线晶圆检测装置和控制系统，其特征是：所述控制系统工作步骤如下：

通过机械手吸盘将晶片放置在承片台(3)上，光线穿过半透半反镜(2)照射在晶片表面后，再反射和散射到半透半反镜(2)，最后投射到投屏(4)，工业相机(5)采集图像，再经过处理，扫描整幅图像，找到图像散射光带长轴所在的方向和位置，并将长轴倾斜的图像旋转至水平位置，最后对比标准值得出晶片的是否合格，将数据传送给分类器。

3.根据权利要求1所述的一种在线晶圆检测装置和控制系统，其特征是：图像处理系统是经过二位高斯低通滤波器消除杂音后，扫描整幅图像，找到图像散射光带长轴所在的方向和位置的方法是：滤波后的图像，在每个竖直方向的像素点系列中，长轴所在的点灰度值最大，因此逐一扫描图像中的每个竖直序列，寻找到灰度值最大的点所在的位置，即可确定长轴方向。

4.根据权利要求1所述的一种在线晶圆检测装置和控制系统，其特征是：所述动作执行机构是基于MGSA-SVM算法的分类器。