[发明专利]一种双面镜镀膜玻璃制作方法在审

专利信息
申请号: 202210448684.6 申请日: 2022-04-26
公开(公告)号: CN114853359A 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 林伯淳 申请(专利权)人: 台玻天津玻璃有限公司
主分类号: C03C17/36 分类号: C03C17/36
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 代理人: 范建良
地址: 301609 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 双面 镀膜 玻璃 制作方法
【权利要求书】:

1.一种双面镜镀膜玻璃制作方法,其特征在于:双面镜镀膜玻璃包括玻璃基板,还包括依次叠加设置在所述玻璃基板表面的第一电介质层、第二电介质层、金属吸收层、第三电介质层和第四电介质层;具体制作方法包括如下步骤:

S1,选择4-6mm的透明玻璃基板,按照预设尺寸对所述玻璃基板进行预制加工成型,并对玻璃基板进行清洗;

S2,选择磁控溅射镀膜设备,在玻璃基板上溅射第一电介质层,所述第一电介质层的厚度为20nm~80nm;第一电介质层为高折射率的电介质膜层,折射率范围在2.0-2.7,所述第一电介质层为Si3N4、AZO、TiO2、TiN、Nb2O5、ZrO2中的一种或几种;

S3,选择磁控溅射镀膜设备,在第一电介质层上溅射第二电介质层,所述第二电介质层的厚度为50nm~100nm;所述第二电介质层为低折射率的电介质膜层,折射率范围在1.35-1.6,第二电介质层为SiO2、SiNxOy、Al2O3、MgF2中的一种或几种;

S4,选择磁控溅射镀膜设备,在第二电介质层上溅射金属吸收层,所述金属吸收层为Cr、CrNx、NiCr、NiCrOx或SST中的一种或几种;所述金属吸收层的厚度为40nm~70nm;

S5,选择磁控溅射镀膜设备,在金属吸收层上溅射第三电介质层,所述第三电介质层为低折射率的电介质膜层,折射率范围在1.35-1.6,第三电介质层为SiO2、SiNxOy、Al2O3、MgF2中的一种或几种;所述第三电介质层的厚度为50nm~100nm;

S5,选择磁控溅射镀膜设备,在第三电介质层上溅射第四电介质层,所述第四电介质层为高折射率的电介质膜层,折射率范围在2.0-2.7,第四电介质层为Si3N4、AZO、TiO2、TiN、Nb2O5、ZrO2中的一种或几种;所述第四电介质层的厚度为50nm~100nm;第四电介质层溅射完成后得到双面镜镀膜玻璃。

2.如权利要求1所述的一种双面镜镀膜玻璃制作方法,其特征在于:所述玻璃基板为5mm的制镜级浮法原片。

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