[发明专利]编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器

说明书

本发明涉及编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器。本发明的主要目的在于提供一种编码器用反射型光学标尺，其能够充分降低在低反射区域的反射率。本发明通过提供一种编码器用反射型光学标尺来解决上述课题，该编码器用反射型光学标尺在基材上交替地配置有高反射区域和低反射区域，上述低反射区域包含低反射部，上述低反射部包含形成于上述基材上的金属铬膜、和以任意顺序形成于上述金属铬膜上的氧化铬膜和氮化铬膜，在上述高反射区域，从上述编码器用反射型光学标尺的与上述基材相反一侧入射的光的反射率高于上述低反射区域。

本申请是分案申请，其原申请的中国国家申请号为202180005583.5，申请日为2021年03月30日，发明名称为“编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器”。

技术领域

本发明涉及编码器用反射型光学标尺和编码器。

背景技术

以往，在测定机等领域中，使用了能够高精度地进行尺寸等的测定的光学式编码器。光学式编码器有透射型编码器和反射型编码器，与透射型编码器相比，反射型编码器的光路短，容易小型化、薄型化，并且具有无需发光元件、光接受元件的定位且组装容易的优点。

反射型光学式编码器包含反射型光学标尺、向标尺照射光的LED等光源、和检测来自尺的反射光的光检测器。反射型光学标尺交替地配置有反射区域(高反射区域)和非反射区域(低反射区域)，反射区域中的光的反射率高于非反射区域中的光的反射率。由此，从标尺反射并入射至光检测器的光的强度会因标尺的位置变化而产生强弱。光检测器可检测因标尺的位置在测长方向上移动而产生的光的强弱。反射型光学式编码器根据检测出的光的强弱而对该标尺的位置的位移信息进行处理，能够取得位置信息。

在形成于反射型光学标尺的反射区域和非反射区域中，为了防止光检测器造成的误检、提高信号的检测精度，需要提高反射区域的反射率，降低非反射区域的反射率。

例如，专利文献1中公开了一种反射型光学标尺，其使反射型光学标尺的非反射区域为依次层积有金属Ti、SiO₂、TiO₂和SiO₂的多层膜结构而进行低反射化，增大了在高反射区域的反射光的强度与在低反射区域的反射光的强度之差。但是，所使用的SiO₂膜的成本高，成膜用原料也需要Ti和Si这2种，在成本方面是不利的。

另外，专利文献2中公开了一种反射型光学标尺，其利用由金属氧化膜或金属氮化物构成的非反射图案被覆了表面反射率高的基板的单面的一部分区域。

专利文献3中记载了下述内容：作为形成光的反射率低于反射膜的图案形成膜的材料，使用铬、或者铬氧化物和铬氮化物等铬化合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-158710号公报

专利文献2：日本实开昭61-197510号公报

专利文献3：日本特开2005-241248号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，已提出了反射型光学标尺的各种构成，但本发明人发现，在以往的编码器用反射型光学标尺的低反射区域的构成中，无法充分地降低在红色/近红外区域中的反射率。因此，希望进一步降低低反射区域的反射率。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其主要目的在于提供一种能够充分降低在低反射区域的反射率的编码器用反射型光学标尺。

用于解决课题的手段