[发明专利]光罩、触控模组、显示模组、网格导电结构及其制备方法

权利要求书

1.一种光罩，其特征在于，所述光罩呈网格图案；其中，所述网格图案包括多个第一带状图案和多个第二带状图案；

所述第一带状图案沿着第一方向连续等宽延伸；

所述第二带状图案沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸，相邻所述第一带状图案之间设置有多个沿着第一方向排布的第二带状图案；沿所述第二方向，所述第二带状图案具有主体部和与所述第一带状图案连接的端部，所述端部的宽度小于所述主体部的宽度。

2.根根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，相邻两个所述第一带状图案和与所述相邻两个第一带状图案连接的相邻两第二带状图案之间形成镂空区；其中，沿着所述第一带状图案的延伸方向，所述主体部之间的距离小于所述端部之间的距离。

3.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述端部具有平行于所述第二方向的对称轴。

4.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述端部的宽度沿着靠近所述第一带状图案方向逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，沿靠近所述第一带状图案的方向，所述端部的外轮廓形状为直线或弧线。

6.一种光罩，其特征在于，所述光罩呈网格图案；其中，所述网格图案包括多个第一带状图案和多个第二带状图案；

所述第一带状图案沿着第一方向连续等宽延伸；

所述第二带状图案沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸，相邻所述第一带状图案之间设置有多个沿着第一方向排布的第二带状图案；沿所述第二方向，所述第二带状图案具有主体部和至少一个端部，所述端部位于所述主体部和所述第一带状图案之间，所述端部与所述第一带状图案的之间具有间距，所述间距的尺寸为0.035-0.0625mm。

7.一种网格导电结构，其特征在于，包括：

同层设置且相互连接的第一走线和第二走线；

所述第一走线沿着第一方向连续等宽延伸；

所述第二走线沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸，相邻所述第一走线之间设置有多个沿着第一方向排布的第二走线，沿所述第一方向，各所述第一走线与多个所述第二走线相邻；沿所述第二方向，所述第二走线具有主体部走线和与所述第一走线连接的端部走线，所述端部走线的宽度小于或等于所述主体部走线的宽度。

8.一种触控模组，其特征在于，包括：权利要求7所述的网格导电结构。

9.一种显示模组，其特征在于，包括：权利要求8所述的触控模组。

10.一种网格导电结构的制备方法，其特征在于，包括：

在导电材料表面设置光阻材料；

将权利要求1-6中任一项所述的光罩设置在所述光阻材料上，对所述光阻材料进行曝光显影处理，形成图案化光阻层；其中，所述图案化光阻层包括多个第一方向光阻和多个第二方向光阻；所述第一方向光阻沿着第一方向连续延伸；所述第二方向光阻沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸，相邻所述第一方向光阻之间设置有多个沿着第一方向排布的第二方向光阻，沿所述第一方向，各所述第一方向光阻与多个所述第二方向光阻相邻；沿所述第二方向，所述第二方向光阻具有光阻主体部和光阻端部，所述光阻端部位于所述光阻主体部和所述第一方向光阻之间，所述光阻端部的宽度小于或等于所述光阻主体部的宽度；

刻蚀所述导电材料形成连续的网格导电结构。