[发明专利]一种自动取片机有效

专利信息
申请号: 202210471056.X 申请日: 2022-04-28
公开(公告)号: CN114932636B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 曾贵州;周铁军;唐勇;卿德武;陈章水 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
代理公司: 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 代理人: 龚元元
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 取片机
【权利要求书】:

1.一种自动取片机,其特征在于,包括一固定结构(1),用于固定外设晶托;还包括一切割组件(2)、一第一驱动组件(3),所述第一驱动组件(3)用于使切割组件(2)与固定结构(1)产生相对移动以使切割组件(2)切割外设基板。

2.根据权利要求1所述的自动取片机,其特征在于,还包括一机架(A),所述固定结构(1)为设置在所述机架(A)上的固定槽(11),所述固定槽(11)的一端为供外设晶托插入的开放端,所述固定槽(11)的相对的两侧均设有卡杆(12),所述卡杆(12)向着所述固定槽(11)的长度方向延伸使固定槽(11)形成工字型的槽状结构。

3.根据权利要求2所述的自动取片机,其特征在于,还包括一第一锁紧件(13),所述第一锁紧件(13)可拆卸连接在所述固定槽(11)上用于将外设晶托锁紧在所述固定槽(11)内。

4.根据权利要求2所述的自动取片机,其特征在于,所述第一驱动组件(3)包括设置在所述机架(A)上的电动滑台(31)、设置在所述电动滑台(31)上的安装架(32);

所述切割组件(2)包括第一导轮(21)、第二导轮(22);还包括一金刚线(23),所述金刚线(23)为缠绕在第一导轮(21)、第二导轮(22)上的环形;所述第一导轮(21)通过一第二驱动组件(24)驱动转动;所述第一导轮(21)、第二导轮(22)均转动设置在所述安装架(32)上。

5.根据权利要求4所述的自动取片机,其特征在于,第一导轮(21)、第二导轮(22)、金刚线(23)配合形成切割平面;所述第一导轮(21)通过一第一调整结构(4)安装在所述安装架(32)上,所述第二导轮(22)通过一第二调整结构(5)安装在所述安装架(32)上;所述第一调整结构(4)用于调整第一导轮(21)与所述固定槽(11)的距离,所述第二调整结构(5)用于调整第二导轮(22)与所述固定槽(11)的距离,以使所述切割平面与所述固定槽(11)之间的距离可调。

6.根据权利要求5所述的自动取片机,其特征在于,所述第一导轮(21)、第二驱动组件(24)设置在一安装块(25)上,所述安装块(25)以可上下滑动的方式连接在所述安装架(32)上;所述第一调整结构(4)包括一支撑件(41),所述支撑件(41)位于所述安装块(25)的下方,所述支撑件(41)向上延伸用于限制所述安装块(25)滑动;所述支撑件(41)通过夹紧的方式安装在所述安装架(32)上以使所述支撑件(41)的向上延伸的高度可调;

所述第二调整结构(5)包括安装柱(51)、螺纹块(52),所述螺纹块(52)固定连接在所述安装架(32)上,所述安装柱(51)上设有与螺纹块(52)配合的螺纹;所述第二导轮(22)转动连接在所述安装柱(51)上。

7.根据权利要求4所述的自动取片机,其特征在于,还包括冷却液输出管(6),所述冷却液输出管(6)固定在所述安装架(32)上,所述冷却液输出管(6)的输出端向着所述金刚线(23)的方向布置。

8.根据权利要求1所述的自动取片机,其特征在于,还包括一夹持组件(7),所述夹持组件(7)包括安装板(71),所述安装板(71)上设有限位槽,所述限位槽内放置有一带有晶片托槽的晶片托块(72);所述晶片托槽相对于所述固定槽(11)布置;所述安装板(71)通过一第三驱动组件(73)驱动可靠近或远离所述固定槽(11)。

9.根据权利要求8所述的自动取片机,其特征在于,还包括夹持杆(74),所述夹持杆(74)通过一第四驱动组件(75)驱动用于将外设晶棒夹持在晶片托槽内;所述第四驱动组件(75)设置在所述安装板(71)上。

10.根据权利要求8所述的自动取片机,其特征在于,所述晶片托槽的长度方向的两端为开放端;还包括2个夹持板(76),用于将外设晶棒限制在晶片托槽内;所述夹持板(76)通过一第三调整结构(8)安装在所述晶片托块(72)上,以使2个所述夹持板(76)之间的间距可调。

11.根据权利要求10所述的自动取片机,其特征在于,所述第三调整结构(8)包括设置在所述晶片托块(72)上的安装孔(81),所述安装孔(81)沿着所述晶片托槽的长度方向延伸;还包括设置在所述夹持板(76)上的安装杆(82),所述安装杆(82)滑动连接在所述安装孔(81)内且可通过一第二锁紧件(83)锁紧。

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