[发明专利]高纯镓浇铸成型方法在审
申请号: | 202210473584.9 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN114799090A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 黄杰杰;何志达;耿思宇 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | B22D7/00 | 分类号: | B22D7/00;B22D43/00;B22D7/12 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 浇铸 成型 方法 | ||
1.一种高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,包括步骤:
步骤一,浇铸前检查浇铸室(4)的温度和湿度保持在规定的温度和湿度内,浇铸室(4)的湿度保持在15%,设定浇铸室(4)内的无霜冰柜(7)的冷冻温度和湿度,设定的无霜冰柜(7)的湿度20%,浇铸室(4)内的手套箱(9)内通保护气且设定湿度15%;
步骤二,将盛放有镓液(200)的罐体(1)和空的模具(2)置于浇铸室(4)内的恒温烘箱(3)中进行恒温保温;
步骤三,在浇铸室(4)内,从恒温烘箱(3)取出保温好的盛放有镓液的罐体(1)和空的模具(2),将罐体(1)中的镓液倒入模具(2)中;
步骤四,将浇铸有镓液的模具(2)码放在托盘(5)上、用刮具(6)刮掉模具(2)中浇铸的镓液的表面的氧化膜、将托盘(5)连同码放的将除去氧化膜后的浇铸有镓液的模具(2)放置在无霜冰柜(7)中、依此类推并叠放多个托盘(5),或者将托盘(5)放置在无霜冰柜(7)中、将浇铸有镓液的模具(2)码放在托盘(5)上、用刮具(6)刮掉模具(2)中浇铸的镓液的表面的氧化膜、依此类推并叠放多个托盘(5);
步骤五,将无尘纸(8)覆盖在最上一层的模具(2)上;
步骤六,在无霜冰柜(7)中冷冻模具(2)中浇铸的镓液以使镓液凝固成型为镓锭;
步骤七,在无霜冰柜(7)中模具(2)中的镓液凝固成型为镓锭之后取出模具(2),将模具(2)倒扣在无尘纸(8)上以使镓锭脱膜;
步骤八,将脱膜在无尘纸(8)上的镓锭连同无尘纸(8)放入手套箱(9),镓锭在手套箱(9)中回温;
步骤九,待手套箱(9)内镓锭温度回温到常温后,取出镓锭复称,检查镓锭外观。
2.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤一中,浇铸室(4)的温度保持在20~28℃。
3.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤一中,设定的无霜冰柜(7)的冷冻温度在-20~-30℃。
4.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤一中,无霜冰柜(7)内设置有干燥剂(11)。
5.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤一中,手套箱(9)内的湿度15%。
6.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤二中,恒温烘箱(3)的恒温温度为40~50℃、保温时间为4~6h。
7.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤三中,用电子电平确定模具(2)浇铸镓液的质量。
8.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤四中,托盘(5)在无霜冰柜(7)中最多码放三层。
9.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤六中,在无霜冰柜(7)中冷冻的时间为3~5h。
10.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,
在步骤六中,冷冻过程中,严禁开关无霜冰柜(7)的冰柜门、晃动无霜冰柜(7)的或其它影响无霜冰柜(7)平稳的操作。
11.根据权利要求1所述的高纯镓浇铸成型方法,其特征在于,高纯镓浇铸成型方法还包括:
步骤十,抽真空包装镓锭。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导微电子科技有限公司,未经广东先导微电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210473584.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。