[发明专利]检测设备有效
申请号: | 202210474503.7 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN114684611B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;水清;吴海裕 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91;B65G47/74 |
代理公司: | 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 | 代理人: | 姚启迪 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 设备 | ||
1.检测设备,其特征在于,包括:
移载机构,所述移载机构包括移载驱动组件、装夹件和支架,所述移载驱动组件安装于所述支架,所述移载驱动组件驱动所述装夹件沿预设路径移动;
第一驱动机构,所述第一驱动机构用于驱动所述移载机构在第一方向往复运动;所述第一驱动机构包括两组提升组件,两组所述提升组件对称地设于所述检测设备的两侧;
第二驱动机构,所述第二驱动机构用于驱动所述移载机构在第二方向往复运动;
第三驱动机构,所述第三驱动机构用于驱动所述移载机构在第三方向往复运动;以及
第四驱动机构,所述第四驱动机构用于驱动所述移载机构以所述第一方向为轴转动;所述第四驱动机构包括第四驱动件、连接座和底座,所述底座与所述支架通过所述连接座形成可转动连接,所述第四驱动件驱动所述支架相对所述底座以第一方向为轴转动;在第一方向上,所述第一驱动机构与所述第二驱动机构连接,所述第二驱动机构与所述第三驱动机构连接,所述第四驱动机构与所述移载机构连接;
其中,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直;
所述移载机构还包括载板组件,所述载板组件包括载板和两个感应件,两个所述感应件位于所述载板第三方向的中线上且相对第二方向的中线对称设置;所述检测设备还包括检测件,所述检测件用于感测所述感应件;所述装夹件用于装夹所述载板;
对准时,所述第二驱动机构带动所述载板沿所述第二方向移动,使两个所述感应件先后进入到所述检测件的拍摄范围得到对应的第一感测点与第二感测点,并根据所述第一感测点与所述第二感测点拟合形成实际位置线,所述第三驱动机构驱动所述载板沿所述第三方向移动使实际位置线与预设目标位置线的中点重合,所述第四驱动机构驱动所述载板转动使实际位置线与预设目标位置线重合;
所述移载机构包括自适应组件,所述自适应组件包括第一连接件、第二连接件和连接轴,所述第一连接件与所述移载驱动组件连接,所述第二连接件与所述装夹件连接,所述第一连接件与所述第二连接件通过所述连接轴形成可转动连接,所述连接轴沿所述第一方向延伸。
2.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述检测设备包括第一支撑台,所述移载机构位于所述第一支撑台之上;
两组所述提升组件间隔设置且用于驱动所述第一支撑台沿所述第一方向往复移动。
3.根据权利要求2所述的检测设备,其特征在于,所述第一驱动机构还包括两个提升导向组件,所述提升导向组件与所述提升组件一一对应,且所述提升导向组件沿所述第一方向延伸。
4.根据权利要求2所述的检测设备,其特征在于,所述第一驱动机构还包括同步驱动组件,所述同步驱动组件用于驱动两个所述提升组件同步且同方向运动。
5.根据权利要求4所述的检测设备,其特征在于,所述提升组件包括提升旋转件和提升转化件,所述提升转化件与所述提升旋转件配合以将所述提升旋转件的转动转化为沿所述第一方向的往复移动;
所述同步驱动组件包括提升驱动件和提升传动件和提升同步件,所述提升驱动件通过所述提升同步件驱动所述提升传动件转动,所述提升传动件带动所述提升旋转件转动。
6.根据权利要求2所述的检测设备,其特征在于,所述第二驱动机构和所述第三驱动机构中的一个与所述第一支撑台连接,另一个与所述移载机构连接,所述第二驱动机构和所述第三驱动机构连接。
7.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述支架与所述第三驱动机构连接,所述移载驱动组件的运动方向与所述第二方向一致。
8.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述检测设备包括第二支撑台和悬浮支撑件,所述悬浮支撑件设于所述第二支撑台与所述支架之间。
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