[发明专利]荧光图像检测系统及荧光检测方法

权利要求书

1.一种荧光图像检测系统，用以检测待测物的荧光图像，其特征在于，包括：

激发光源，产生激发光至所述待测物上的至少一个照射区域上，使所述待测物产生荧光；

面扫描图像获取装置，接收自所述待测物上的所述荧光，以获得所述待测物的所述荧光图像；

滤光模块，耦合于所述面扫描图像获取装置与所述待测物之间，以滤除所述激发光，并使所述荧光通过所述滤光模块；以及

控制器，耦合至所述面扫描图像获取装置，以接收并检测该荧光图像。

2.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，还包括：

另一滤光模块，在所述激发光的传递路径上耦合于所述激发光源与所述待测物之间，以使所述激发光通过，并使其余色光被过滤；以及

分光镜，在所述激发光的传递路径上耦合于所述另一滤光模块与所述待测物之间，以使所述激发光反射，并使所述荧光穿透。

3.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，还包括前导式对焦模块，与所述控制器耦合。

4.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，所述待测物包括印刷电路板、晶圆或其他含有有机物的物体。

5.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，于所述至少一个照射区域所累积的能量达到能量累积阀值时，停止以激发光源照射所述至少一个照射区域。

6.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，所述激发光源包括多个照射方向不同的导光光纤光源或环形光源。

7.根据权利要求1所述的荧光图像检测系统，其特征在于，所述面扫描图像获取装置的总像素大于等于14,000×10,000。

8.根据权利要求5所述的荧光图像检测系统，其特征在于，所述面扫描图像获取装置的曝光时间大于等于所述能量累积阀值所对应的时间。

9.根据权利要求5所述的荧光图像检测系统，其特征在于，所述能量累积阀值为所述待测物在所述至少一个照射区域内发生光致褪色的时间的80％。

10.一种荧光检测方法，其特征在于，包括：

基于待测物，于所述待测物上定义至少一个照射区域；

根据所述至少一个照射区域，对应地设定所述至少一个照射区域的能量累积阀值；

以激发光源照射所述待测物上的所述至少一个照射区域，使所述待测物产生荧光；以及

透过所述荧光，图像检测所述待测物；

其中于所述至少一个照射区域所累积的能量达到所述能量累积阀值时，停止以所述激发光源照射所述至少一个照射区域。

11.根据权利要求10所述的荧光检测方法，其特征在于，还包括：

校正所述激发光源所提供的单位照射能量。

12.根据权利要求10所述的荧光检测方法，其特征在于，所述激发光源照射所述待测物上的所述至少一个照射区域的步骤包括：

纪录所述至少一个照射区域的能量累积状态。

13.根据权利要求10所述的荧光检测方法，其特征在于，设定所述至少一个照射区域的所述能量累积阀值的步骤包括：

根据所述至少一个照射区域的材质类型，设定所述能量累积阀值。