[发明专利]荧光图像检测系统及荧光检测方法

说明书

本发明提供一种用以检测待测物的荧光图像的荧光图像检测系统。荧光图像检测系统包括激发光源、面扫描图像获取装置、滤光模块以及控制器。激发光源产生激发光至待测物上的至少一个照射区域上，使待测物产生荧光。面扫描图像获取装置接收自待测物上的荧光，以获得待测物的荧光图像。滤光模块耦合于面扫描图像获取装置与待测物之间，以滤除激发光，并使荧光通过滤光模块。控制器耦合至面扫描图像获取装置，以接收并检测荧光图像。一种荧光检测方法亦被提出。

技术领域

本发明涉及一种检测系统及检测方法，尤其涉及一种荧光图像检测系统及荧光检测方法。

背景技术

在传统的可见光检测技术中，高反射率或高穿透率的材质不易良好地被可见光检测呈现。例如，待测物中存在金属等高反射率的材质，使得检测结果容易发生误判。或者是，透明胶体在可见光检测中不易明显地被呈现。

荧光是一种物体吸收短波长的激发光而发出长波长的出射光的现象。而荧光检测利用待测物内的有机物来产生荧光，可提供更高的检测质量，因此成为自动光学检测(Automated Optical Inspection,AOI)的选项之一。例如，透明胶体可透过胶体照射激发光后所产生的荧光来明确凸显其样貌。

然而，由于荧光是种相当微弱的光源，在工业检测的高产速需求下很难量产。而且，若为了提高荧光的强度而提高激发光的照射强度或时间，反而会导致光致褪色(Photobleaching)的效应，进而损害待测物。

发明内容

本发明提供一种荧光图像检测系统及荧光检测方法，其能在避免光致褪色的情况下，提高荧光检测效果。

本发明的一实施例提供一种用以检测待测物的荧光图像的荧光图像检测系统。荧光图像检测系统包括激发光源、面扫描图像获取装置、滤光模块以及控制器。激发光源产生激发光至待测物上的至少一个照射区域上，使待测物产生荧光。面扫描图像获取装置接收自待测物上的荧光，以获得待测物的荧光图像。滤光模块耦合于面扫描图像获取装置与待测物之间，以滤除激发光，并使荧光通过滤光模块。控制器耦合至面扫描图像获取装置，以接收并检测荧光图像。

本发明的一实施例提供一种荧光检测方法，其包括以下步骤。基于待测物，于待测物上定义至少一个照射区域。根据至少一个照射区域，对应地设定至少一个照射区域的能量累积阀值。以激发光源照射待测物上的至少一个照射区域，使待测物产生荧光。透过荧光，图像检测待测物。其中，于至少一个照射区域所累积的能量达到能量累积阀值时，停止以激发光源照射照射区域。

基于上述，在本发明的一实施例中，由于荧光图像检测系统及荧光检测方法根据能量累积阀值来控制激发光照射待测物的照射区域的时间，因此，荧光图像检测系统及荧光检测方法能在避免光致褪色的情况下，提高荧光检测效果。而且，由于使用大面阵列的面扫描图像获取装置，相对于采用线阵列图像传感器，本发明实施例的荧光图像检测系统可做到高速检测的要求。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的一种荧光图像检测系统的光路示意图；

图2是根据本发明的一实施例的一种荧光图像检测系统的立体示意图；

图3是对待测物建立多个照射区域的示意图；

图4是根据本发明的一实施例的一种荧光检测方法的流程图。

具体实施方式

请参考图1-图3，本发明的一实施例的荧光图像检测系统100用以检测待测物S的荧光图像。荧光图像检测系统100包括激发光源110、面扫描图像获取装置120、滤光模块140A以及控制器130。在本实施例中，包含但不限于，待测物S例如是印刷电路板、晶圆或其他含有有机物的物体，且有机物例如是印刷电路板上的透明胶体或晶圆上的污染物。