[发明专利]微机电系统差分磁传感器、传感器单体及电子设备

权利要求书

1.一种微机电系统差分磁传感器，包括：

第一磁阻；

第一磁源；以及

第二磁源，

其中，第一磁源和第二磁源分别位于第一磁阻的两侧，

其中，第一磁源和第二磁源的磁化方向相反，以在第一磁阻处形成差分磁场，

其中，第一磁阻、第一磁源和第二磁源形成在相同的器件平面上，以及

其中，所述第一磁阻能相对于第一磁源和第二磁源移动。

2.根据权利要求1所述的微机电系统差分磁传感器，其中，第一磁源和第二磁源是永磁体。

3.根据权利要求1或2所述的微机电系统差分磁传感器，其中，第一磁阻能在所述器件平面内，相对于第一磁源和第二磁源，在第一磁源和第二磁源之间移动。

4.根据权利要求3所述的微机电系统差分磁传感器，还包括：位于相同器件层的第一器件部分、第二器件部分和第三器件部分，

其中，第二器件部分位于第一器件部分和第三器件部分之间，并且能够相对于第一器件部分和第三器件部分，在所述器件平面内，在第一器件部分和第三器件部分之间移动，

其中，所述第一磁源位于所述第一器件部分上，所述第一磁阻位于所述第二器件部分上，所述第二磁源位于所述第三器件部分上。

5.根据权利要求4所述的微机电系统差分磁传感器，其中，所述第二器件部分是位于第一器件部分和第二器件部分之间的悬臂梁，以及

其中，所述第一磁阻位于所述悬臂梁的末段。

6.根据权利要求4所述的微机电系统差分磁传感器，其中，所述第二器件部分是两端固定在支撑件上的横梁，以及

其中，所述第一磁阻位于所述横梁的中段。

7.根据权利要求4所述的微机电系统差分磁传感器，其中，第一器件部分和第二器件部分是悬臂梁，所述第二器件部分是位于第一器件部分和第二器件部分之间的横梁，以及

其中，所述第一磁源和第二磁源位于所述悬臂梁的末段。

8.根据权利要求1或2所述的微机电系统差分磁传感器，还包括：分别以与第一磁阻、第一磁源和第二磁源相同的方式设置的第二磁阻、第三磁源和第四磁源，

其中，第三磁源和第四磁源的磁化方向分别与第一磁源和第二磁源磁化方向相反，

其中，第一磁阻和第二磁阻以相同方式移动，以形成差分电阻。

9.根据权利要求1或2所述的微机电系统差分磁传感器，其中，第一磁阻能沿所述器件平面的法线方向移动。

10.一种传感器单体，包括基板、根据权利要求1所述的微机电系统差分磁传感器以及集成电路芯片，其中，所述微机电系统差分磁传感器以及集成电路芯片被设置在所述基板上。

11.一种电子设备，包括根据权利要求10所述的传感器单体。