[发明专利]带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件在审
申请号: | 202210484796.7 | 申请日: | 2022-05-06 |
公开(公告)号: | CN115416322A | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 有福法久;木村昌照 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B29C69/00 | 分类号: | B29C69/00;B26D1/157;B26D5/02;B26D7/02;B26D7/20;B23K26/362;B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B24B7/22;H01L21/683;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 沈娥;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保护 部件 加工 制造 方法 | ||
1.一种带保护部件的被加工物的制造方法,使保护该被加工物的保护部件紧贴于板状的被加工物的一面侧而制造带保护部件的被加工物,其中,该带保护部件的被加工物的制造方法具有如下的步骤:
混合树脂准备步骤,在液态的紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的热塑性树脂,准备液态的混合树脂;
树脂层形成步骤,向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层;
保护部件形成步骤,对该树脂层照射紫外线,使该树脂层固化而形成片状的保护部件;以及
带保护部件的被加工物形成步骤,在使片状的该保护部件的一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴之前或紧贴之后,对该片状的保护部件进行加热,使片状的该保护部件紧贴于该被加工物而与该被加工物一体化。
2.根据权利要求1所述的带保护部件的被加工物的制造方法,其中,
在该带保护部件的被加工物形成步骤之后,还具有对该保护部件进行冷却的保护部件冷却步骤。
3.根据权利要求1或2所述的带保护部件的被加工物的制造方法,其中,
在该被加工物的该一面上形成有器件。
4.一种被加工物的加工方法,对板状的被加工物进行加工,其中,该被加工物的加工方法具有如下的步骤:
加工步骤,利用卡盘工作台对在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而成的片状的保护部件的一面侧与该被加工物的一面侧相互紧贴的状态的带保护部件的被加工物的该保护部件进行保持,对该被加工物进行加工;以及
保护部件剥离步骤,在该加工步骤实施后,从该被加工物剥离该保护部件。
5.根据权利要求4所述的被加工物的加工方法,其中,该被加工物的加工方法还具有如下的步骤:
混合树脂准备步骤,在该加工步骤之前,在液态的该紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的该热塑性树脂,准备液态的该混合树脂;
树脂层形成步骤,在该混合树脂准备步骤之后且在该加工步骤之前,向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层;
保护部件形成步骤,在该树脂层形成步骤之后且在该加工步骤之前,对该树脂层照射紫外线,使该树脂层固化而形成片状的该保护部件;以及
带保护部件的被加工物形成步骤,在该保护部件形成步骤之后且在该加工步骤之前,使加热的片状的该保护部件的该一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴,形成该带保护部件的被加工物。
6.一种被加工物的保护部件,其紧贴于圆盘状的被加工物的一面侧而对该被加工物进行保护,其中,
在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而形成片状。
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