[发明专利]电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法

权利要求书

1.一种电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述电子显微镜的真空抽取系统包括：

检测件(200)，用于检测电子显微镜内的气压值；

控制器(300)，与所述检测件(200)通讯连接以获取所述气压值；

抽真空机构，与所述电子显微镜内连通，以用于将所述电子显微镜内气体抽出形成真空，所述抽真空机构包括均与所述控制器(300)通讯连接的预抽组件(400)、一级抽气组件(500)以及二级抽气组件(600)，所述控制器(300)配置为根据所述气压值的逐渐降低而依次控制所述预抽组件(400)、所述一级抽气组件(500)以及所述二级抽气组件(600)启动。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述预抽组件(400)包括：

第一预抽泵(410)，与所述控制器(300)通讯连接；

第一抽气阀组，与所述第一预抽泵(410)及所述电子显微镜分别连接，所述第一预抽泵(410)配置为对所述电子显微镜内的气体进行预抽，并调节所述一级抽气组件(500)的抽气端的气压；

第二预抽泵(430)，与所述控制器(300)通讯连接；以及

抽气阀(440)，与所述第二预抽泵(430)和所述一级抽气组件(500)的排气端分别连接，所述第二预抽泵(430)配置为调节所述一级抽气组件(500)的排气端的气压；

其中，所述一级抽气组件(500)的抽气端和排气端的气压满足预设条件时，所述控制器(300)控制所述一级抽气组件(500)启动。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在，所述一级抽气组件(500)包括：

一级抽气泵(510)，与所述控制器(300)通讯连接，所述一级抽气泵(510)的排气端与所述抽气阀(440)连通；

一级控制阀组，与所述一级抽气泵(510)的抽气端、所述第一抽气阀组及所述电子显微镜分别连接。

4.根据权利要求3所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述电子显微镜的真空抽取系统还包括：

储气筒(761)，与所述第二预抽泵(430)的抽气端及所述一级抽气泵(510)的排气端分别连接；

其中，所述储气筒(761)内的气压符合所述一级抽气泵(510)的排气端的启动气压。

5.根据权利要求1所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述二级抽气组件(600)包括：

二级抽气泵，靠近所述电子显微镜的电子枪室(110)设置，并与所述控制器(300)及所述电子显微镜的电子枪室(110)相连接。

6.根据权利要求5所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述二级抽气泵的抽气端与所述一级抽气组件(500)的抽气端连通，以调节所述二级抽气泵的抽气端的气压。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述电子显微镜的真空抽取系统还包括：

转换阀(111)，与所述电子显微镜的电子枪室(110)连通，以用于填充或排出绝缘气体。

8.一种电子显微镜的真空抽取方法，其特征在于，应用于如权利要求1至7中任一项所述的电子显微镜的真空抽取系统，所述电子显微镜的真空抽取方法包括：

启动所述预抽组件(400)对所述电子显微镜内的气体进行预抽，并获取所述电子显微镜内的第一气压值；

当所述第一气压值小于第一气压预设值时，且大于第二气压预设值时，启动所述一级抽气组件(500)对所述电子显微镜内进行一级抽气；

当所述第一气压值小于第二气压预设值时，启动所述二级抽气组件(600)对所述电子显微镜内进行二级抽气。