[发明专利]电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法

说明书

本发明属于电子显微镜的技术领域，公开了电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法。该电子显微镜的真空抽取系统包括：检测件，用于检测电子显微镜内的气压值；控制器，与检测件通讯连接；抽真空机构，与电子显微镜内连通。抽真空机构包括均与控制器通讯连接的预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件，控制器配置为根据气压值的逐渐降低而依次控制预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件启动。以此通过预抽组件、一级抽气组件、二级抽气组件依次启动来完成对电子显微镜内的抽气，不仅可以快速将气体抽出，获得符合要求的真空度，而且启动过程完全由控制器来控制，其整体的自动化程度较高，能够有效提高设备的使用效率。

技术领域

本发明涉及电子显微镜的技术领域，尤其涉及一种电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法。

背景技术

电子显微镜是一种分辨率高达0.2纳米的显微镜，其一般包括镜筒、真空装置以及电源柜三部分，其主要是利用电子在真空状态下不会被吸收或者偏向，来对样品进行观察，因此电子显微镜内的真空度对样品的观察会有较大的影响。

现有技术中，在电子显微镜内形成真空环境时，都是利用机械泵、阀组以及抽气管道来实现，将抽气管道与镜筒连接，阀组就设置在抽气管道上，机械泵与抽气管道连接，通过机械泵即可将镜筒内的气体抽出。

但是上述过程中，机械泵虽然可以将镜筒内的气体抽出，但是随着镜筒内气体的减少，气压就会降低，真空度就会逐渐提高，而机械泵都有自己的工作范围，当气压降低到一定程度后，即便机械泵继续运行，镜筒内的气压变化不会有大范围的变化，真空度就会维持不变，此时如果需要继续降低真空度就需要机械泵长时间运行或者更换其他工作范围内的机械泵，导致整体真空抽取过程非常耗费时间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种电子显微镜的真空抽取系统，其包括：检测件，用于检测电子显微镜内的气压值；控制器，与上述检测件通讯连接以获取上述气压值；抽真空机构，与上述电子显微镜内连通，以用于将上述电子显微镜内气体抽出形成真空，上述抽真空机构包括均与上述控制器通讯连接的预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件，上述控制器配置为根据上述气压值的逐渐降低而依次控制上述预抽组件、上述一级抽气组件以及上述二级抽气组件启动。

可选地，上述预抽组件包括：第一预抽泵，与上述控制器通讯连接；第一抽气阀组，与上述第一预抽泵及上述电子显微镜分别连接，上述第一预抽泵配置为对上述电子显微镜内的气体进行预抽，并调节上述一级抽气组件的抽气端的气压；第二预抽泵，与上述控制器通讯连接；以及抽气阀，与上述第二预抽泵和上述一级抽气组件的排气端分别连接，上述第二预抽泵配置为调节上述一级抽气组件的排气端的气压；其中，上述一级抽气组件的抽气端和排气端的气压满足预设条件时，上述控制器控制上述一级抽气组件启动。

通过上述技术方案，在抽气时，先启动第一预抽泵和第二预抽泵，第一预抽泵能够对电子显微镜内的气体进行预抽，以调节电子显微镜内的气压，而一级抽气组件的抽气端与电子显微镜是连通的，也就是调整了一级抽气组件的抽气端的气压。而第二预抽泵则可以抽取一级抽气组件排气端的气体，以调整气压，以此再将一级抽气组件的两端气压调整到符合预设条件时，控制器再启动一级抽气组件进行抽气。

可选地，上述一级抽气组件包括：一级抽气泵，与上述控制器通讯连接，上述一级抽气泵的排气端与上述抽气阀连通；一级控制阀组，与上述一级抽气泵的抽气端、上述第一抽气阀组及上述电子显微镜分别连接。

通过上述技术方案，一级抽气组件启动时，就启动一级抽气泵，一级抽气泵通过一级控制阀组就能够继续对完成预抽的电子显微镜内进行抽气，以提高电子显微镜内的真空度。

可选地，上述电子显微镜的真空抽取系统还包括：储气筒，与上述第二预抽泵的抽气端及上述一级抽气泵的排气端分别连接；其中，上述储气筒内的气压符合上述一级抽气泵的排气端的启动气压。