[发明专利]流量传感器封装结构及封装方法

说明书

本发明提供了一种流量传感器封装结构及封装方法，其中封装结构包括：流量传感器、基板以及流道盖板，基板与流量传感器固定连接，流道盖板与基板固定连接，其中，流量传感器嵌入到通孔内，并且流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐。在本发明所提供技术方案中，由于流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐，在流量传感器的感测表面附近，流体的流动是平稳的，从而避免由于流量传感器的感测表面附近流体波动所导致的流量传感器的测量精度、稳定性及量程比降低的情况。

技术领域

本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种流量传感器封装结构及封装方法。

背景技术

在工业控制、生物医疗、智能家居、汽车、环境监测等领域，通常需要使用流量计对流体的流量进行测量，较为常用的是热式流量计。热式流量计采用热扩散原理，流体经过传感器表面时，随着流体流速增加，带走的热量增多，传感器的温度差将随介质的流速变化而变化，根据温度差与介质流速的比例关系，可得出流体的流量Q。

目前，热式流量传感器中的传感器芯片比较常用的是MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）芯片，MEMS芯片放置与基板上机加工开设的凹槽内，这种方法形成的凹槽不仅成本高，而且凹槽的深度一致性差，并且在将MEMS芯片放置在凹槽后，MEMS芯片表面与基板表面的高度一致性差，进而对于MEMS芯片表面与基板高度差异大的产品，流体经过MEMS芯片表面时，容易产生波动，从而影响流量的稳定性，从而影响流速测量精度。

因此，在流体的流量测量过程中，如何避免流体通过流量计入口后在经过传感器芯片表面时的流体的波动，是亟需解决的问题。

发明内容

本发明提供了一种流量传感器封装结构及封装方法，其中，在流量传感器封装结构中，流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐，在流量传感器的感测表面附近，流体的流动是平稳的，从而避免由于流量传感器的感测表面附近流体波动所导致的流量传感器的测量精度、稳定性及量程比降低的情况，具体方案如下：

第一方面，提供一种流量传感器封装结构，所述封装结构包括：基板（1）、流量传感器（2）以及流道盖板（3），所述基板（1）与所述流量传感器（2）固定连接，所述流道盖板（3）与所述基板（1）固定连接，其中，所述流道盖板（3）具有通孔（8），所述流量传感器（2）嵌入到所述通孔（8）内，并且所述流量传感器（2）的感测表面与所述流道盖板（3）远离所述基板（1）的一侧表面平齐。

进一步地，所述基板（1）上设置有凸台（5），所述凸台（5）与所述基板（1）固定连接，并且所述流量传感器（2）与所述凸台（5）通过粘接层（6）固定连接。

进一步地，所述流量传感器（2）的厚度以及所述粘接层（6）的厚度之和与所述流道盖板（3）的厚度相同。

进一步地，所述流量传感器（2）具有腔体部分和非腔体部分，所述非腔体部分与所述粘接层（6）相粘接，所述腔体部分悬空。

进一步地，所述基板（1）与所述流道盖板（3）通过粘接件（7）固定连接；

所述粘接件（7）的高度与所述凸台（5）的高度相同。

进一步地，所述基板（1）朝向所述流道盖板（3）的一侧表面上设置有至少两个点胶槽（1-1），所述至少两个点胶槽（1-1）内涂覆有粘接胶以形成所述粘接件（7）。

进一步地，所述通孔（8）具有第一区域（8-1）和第二区域（8-2），所述流量传感器（2）嵌入到所述第一区域（8-1）内；