[发明专利]膜片式真空泵

权利要求书

1.膜片式真空泵，包括泵体(1)，泵体(1)上端通过螺栓安装有泵盖(2)，泵体(1)下端通过螺栓安装有轴承箱(3)；其特征在于：还包括驱动机构(4)、泵轴(5)以及隔板(6)，所述泵轴(5)转动设置于泵体(1)内，所述驱动机构(4)安装于轴承箱(3)上用于带动泵轴(5)沿轴向往复运动，所述泵轴(5)上安装有与泵体(1)内壁相连的小膜片(7)，小膜片(7)上方形成泵腔(8)，所述隔板(6)设置在泵腔(8)中，并且所述隔板(6)与泵轴(5)的上端联动连接，隔板(6)的外周与泵腔(8)的内壁之间连接有大膜片(9)，大膜片(9)将所述泵腔(8)分隔成上腔(10)和下腔(11)；所述泵盖(2)上开设有将所述上腔(10)与大气相连通的进气口(12)，所述进气口(12)上安装有只允许气体由大气进入上腔(10)的第一单向阀(13)，所述隔板(6)上开设有将所述上腔(10)与下腔(11)相连通的过孔(14)，所述所述过孔(14)上安装有只允许气体由上腔(10)进入下腔(11)的第二单向阀(15)，所述泵体(1)上开设有将所述下腔(11)与大气相连通的排气孔(16)，所述排气孔(16)上安装有只允许气体由下腔(11)排出排出大气的第三单向阀(17)。

2.根据权利要求1所述的膜片式真空泵，其特征在于：所述隔板(6)通过螺丝可拆卸地连接有第一压圈(18)，所述大膜片(9)的内边沿夹设在第一压圈(18)与隔板(6)之间，所述大膜片(9)的外边沿夹设在泵盖(2)与泵体(1)之间。

3.根据权利要求2所述的膜片式真空泵，其特征在于：所述泵轴(5)上设有第一台阶(19)，所述隔板(6)套设在泵轴(5)上并且隔板(6)的下端抵在第一台阶(19)上，所述泵轴(5)的上端设有螺纹段(20)，所述螺纹段(20)上螺纹连接有梅花螺母(21)，所述梅花螺母(21)的下端与隔板(6)的上端面相抵触，所述隔板(6)上端开设有同轴于泵轴(5)的圆槽(22)，所述圆槽(22)内嵌设有用于抵紧梅花螺母(21)的梅花螺母压盖(23)。

4.根据权利要求3所述的膜片式真空泵，其特征在于：所述泵轴(5)上位于第一台阶(19)下方的位置设置有第二台阶(24)，所述泵轴(5)外周位于第二台阶(24)与隔板(6)之间的位置套设有第一中间压盖(25)和第二中间压盖(26)，所述泵体(1)内通过螺丝可拆卸地连接有第二压圈(27)，所述小膜片(7)的内边沿夹设在第一中间压盖(25)与第二中间压盖(26)之间，所述小膜片(7)的外边沿夹设在第二压圈(27)与泵体(1)之间。

5.根据权利要求4所述的膜片式真空泵，其特征在于：所述第一压圈(18)与隔板(6)之间设有呈内大外小的第一环状锥形槽(28)，所述泵盖(2)与泵体(1)之间设有呈内大外小的第二环状锥形槽(29)，所述大膜片(9)的内边沿处设有与所述第一环状锥形槽(28)相契合的第一环状锥形固定部(30)，所述大膜片(9)的外边沿处设有与所述第二环状锥形槽(29)相契合的第二环状锥形固定部(31)；所述第一中间压盖(25)和第二中间压盖(26)之间设有呈内大外小的第三环状锥形槽(32)，所述第二压圈(27)与泵体(1)之间设有呈内大外小的第四环状锥形槽(33)，所述小膜片(7)的内边沿处设有与所述第三环状锥形槽(32)相契合的第三环状锥形固定部(34)，所述小膜片(7)的外边沿处设有与所述第四环状锥形槽(33)相契合的第四环状锥形固定部(35)。

6.根据权利要求1所述的膜片式真空泵，其特征在于：所述泵盖(2)内设有与所述隔板(6)外周相配合的第一环形导向凸部(36)，所述泵体(1)内设有与所述隔板(6)外周相配合的第二环形导向凸部(37)。