[发明专利]微型气体检测系统

权利要求书

1.一种微型气体检测系统，包含：

一分离流路，由半导体制程制出，包含一主流路及多个检测流路，其中该主流路导引一气体做检测，而多个该检测流路与该主流路相连通，以及每个该检测流路中生成一监测腔室，且该监测腔室一侧生成一光源发射元件堆叠一光源检测元件定位，以及该监测腔室内两侧各生成一反射镜相互对应，最后在该监测腔室底部生成一微机电泵；

一填充材，设置于该分离流路的该主流路中，对导入该主流路中该气体进行所含成份化合物的吸附分离；

借此，该气体导引入该主流路中所含成份化合物受该填充材吸附分离，并以不同速度流通于该主流路中形成在不同区间，且每个该检测流路中的该微机电泵启动时，将在不同区间该气体所含成份化合物导入所对应的该检测流路的该监测腔室中保持一定量，且在该监测腔室内通过该光源发射元件所发射一光源照射于两该反射镜而投射于该光源检测元件接收，以利用该监测腔室内通过该气体所含成份化合物对不同波长光源吸收不同的特性，由该光源检测元件接收获得该气体所含成份化合物所输出光谱，以进行分析判断出该气体所含成份化合物的种类。

2.如权利要求1所述的微型气体检测系统，其特征在于，进一步包括一气体致动器，该气体致动器为一微小尺寸的压电式泵，与该主流路连通，提供致动而导引该气体以稳定流速导入该主流路中，让该填充材对导入该气体所含成份化合物进行吸附分离。

3.如权利要求2所述的微型气体检测系统，其特征在于，该压电式泵包含：

一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供以导入一气体，该进流孔对应贯通该汇流排槽，且该汇流排槽汇流到该汇流腔室，使该进流孔所导入的该气体汇流至该汇流腔室中；

一共振片，接合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室对应，而该可动部设置于该中空孔周围且与该汇流腔室相对的区域，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分而贴固于该进流板上；以及

一压电致动器，接合于该共振片上并与该共振片相对应设置，包含一悬浮板、一外框、至少一支架及一压电元件，其中该悬浮板为一正方形形态，可弯曲振动，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧，至少一该支架连接于该悬浮板与该外框之间，用以提供该悬浮板弹性支撑的支撑力，以及该压电元件具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以被施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动；

其中，该共振片与该压电致动器之间具有一腔室空间，以使该压电致动器受驱动时，使该气体由该进流板的该进流孔导入，经该汇流排槽汇集至该汇流腔室中，再流经该共振片的该中空孔，由该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振传输该气体。

4.如权利要求3所述的微型气体检测系统，其特征在于，该压电式泵进一步包含一第一绝缘片、一导电片及一第二绝缘片，其中该进流板、该共振片、该压电致动器、该第一绝缘片、该导电片及该第二绝缘片依序堆叠组合设置。

5.如权利要求2所述的微型气体检测系统，其特征在于，该气体致动器为一压电鼓风泵，该压电鼓风泵包含：

一喷气孔片，包含一悬浮片及一中空孔洞，该悬浮片可弯曲振动，而该中空孔洞形成于该悬浮片的中心位置；

一腔体框架，承载叠置于该悬浮片上；

一致动体，承载叠置于该腔体框架上，包含一压电载板、一调整共振板及一压电板，该压电载板承载叠置于该腔体框架上，该调整共振板承载叠置于该压电载板上，以及该压电板承载叠置于该调整共振板上，供以接受电压而驱动该压电载板及该调整共振板产生往复式地弯曲振动；

一绝缘框架，承载叠置于该致动体上；以及

一导电框架，承载叠设置于该绝缘框架上；

其中，该喷气孔片固设定位，促使该喷气孔片外部定义出一空隙环绕，供以该气体流通，且该喷气孔片底部间形成一气流腔室，而该致动体、该腔体框架及该悬浮片之间形成一共振腔室，通过驱动该致动体带动该喷气孔片产生共振，促使该喷气孔片的该悬浮片产生往复式地振动位移，供以吸引该气体通过该空隙进入该气流腔室再排出，实现该气体的传输流动。