[发明专利]微型气体检测系统

说明书

一种微型气体检测系统，包含：分离流路，由半导体制程制出，包含主流路及多个检测流路，每个检测流路中生成监测腔室，在监测腔室底部生成微机电泵；填充材，设置于分离流路的主流路中，对导入主流路中气体进行所含成份化合物的吸附分离；在监测腔室内通过光源发射元件所发射光源照射于两反射镜而投射于光源检测元件接收，以利用监测腔室内通过气体所含成份化合物对不同波长光源吸收不同的特性，由光源检测元件接收获得气体所含成份化合物所输出光谱，以进行分析判断出该气体所含成份化合物的种类。

【技术领域】

本案关于一种微型气体检测系统，尤指一种以半导体制程制出检测气体所含化合物的微型气体检测系统。

【背景技术】

分析气体的方式之一，是以气相层析(gas chromatography,GC)，在有机化学中，是一种用于分离、纯化易挥发、热稳定性佳化合物的技术，都是借由动相(mobile phase)和静相(stationary phase)互相作用，使混合物所含成份在系统内有不同的流速，而达到分离的目的。

然而，目前气相层析仪型号及种类很多，虽其外形及构造有所不同，但通常由下列基本系统所组成：气路系统、样品注入系统、分离系统、温控系统、检测系统以及纪录系统，如此构成体积较大的仪器设备，此乃由于在分离系统中需要靠一层析管柱(column)来进行样品各成份的分离，层析管柱是气体层析仪的心脏。因为层析管柱效率与管柱长度、内径与膜厚有关，管柱的长度越长、内径与膜厚越小，分析效果越好，所以一般气相层析仪的层析管柱是采用非常长的设置，目前气相层析仪的层析管柱设置还是相当庞大占空间。

有鉴于此，要如何解决气相层析仪的层析管柱长度设置问题，达到气体层析分离的目的，取代层析管柱，亦能达到随时随地可量测使用，实为本案所要研发的课题。

【发明内容】

本案的主要目的是提供一种微型气体检测系统，包含：一分离流路，是由半导体制程制出，包含一主流路及多个检测流路，其中该主流路导引一气体做检测，而多个该检测流路与该主流路相连通，以及每个该检测流路中生成一监测腔室，且该监测腔室一侧生成一光源发射元件堆叠一光源检测元件定位，以及该监测腔室内两侧各生成一反射镜相互对应，最后在该监测腔室底部生成设置一微机电泵；一填充材，设置于该分离流路的该主流路中，对导入该主流路中该气体进行所含成份化合物的吸附分离；借此，该气体导引入该主流路中所含成份化合物受该填充材吸附分离，并以不同速度流通于该主流路中形成在不同区间，且每个该检测流路中的该微机电泵启动时，将在不同区间该气体所含成份化合物导入所对应的该检测流路的该监测腔室中保持一定量，且在该监测腔室内通过该光源发射元件所发射该光源照射于两该反射镜而投射于该光源检测元件接收，以利用该监测腔室内通过该气体所含成份化合物对不同波长光源吸收不同的特性，由该光源检测元件接收获得该气体所含成份化合物所输出光谱，以进行分析判断出该气体所含成份化合物的种类。

【附图说明】

图1A至图1B为本案微型气体检测系统的示意图。

图2A至图2C为本案微型气体检测系统的主流路内的填充材的示意图。

图3A及图3B为本案微型气体检测系统的阀元件的开通与闭合作动示意图。

图4A为本案微型气体检测系统的压电式泵的分解示意图。

图4B为本案微型气体检测系统的压电式泵的另一角度分解示意图。

图5A为本案微型气体检测系统的压电式泵的剖面示意图。

图5B至图5D为本案微型气体检测系统的压电式泵的作动示意图。

图6A为本案微型气体检测系统的压电鼓风泵的立体分解示意图。

图6B至图6D为本案微型气体检测系统的压电鼓风泵的作动示意图。

图7A为本案微型气体检测系统的微机电泵的剖面示意图。

图7B为本案微型气体检测系统的微机电泵的分解示意图。

图8A至图8C为图7A中本案微型气体检测系统的微机电泵的作动示意图。