[发明专利]致动器装置和致动器系统

权利要求书

1.一种致动器装置，其中：

具备：

支撑体；

金属基板，其由所述支撑体支撑；

第1电极部，其设置于所述金属基板；

第1压电体，其配置在所述第1电极部上，具有与所述第1电极部为相反侧的第1主面、和所述第1电极部侧的第2主面；

第2电极部，其配置于所述第1主面；

第2压电体，其配置在所述第2电极部上，具有与所述第2电极部为相反侧的第3主面、和所述第2电极部侧的第4主面；

第3电极部，其配置于所述第3主面；

连接部，其与所述第2电极部电连接；

输入部，其与所述第1电极部和所述第3电极部中的一个电极部电连接；和

输出部，其与所述第1电极部和所述第3电极部中的另一个电极部电连接，

所述金属基板具有：

可动部；

主体部，其设置有所述第1电极部；和

连结部，其将所述可动部与所述主体部连结，

所述第1压电体和所述第2压电体中的所述一个电极部侧的压电体，是用于使所述可动部动作的驱动用压电体，

所述第1压电体和所述第2压电体中的所述另一个电极部侧的压电体，是用于检测所述可动部的动作量的检测用压电体，

所述连接部以与外部的基准电位电连接而使所述第2电极部的电位成为基准电位的方式构成，

所述输入部以将用于驱动所述驱动用压电体的驱动信号从外部输入到所述一个电极部的方式构成，

所述输出部以将在所述检测用压电体中产生的输出信号从所述另一个电极部输出到外部的方式构成。

2.如权利要求1所述的致动器装置，其中：

所述致动器装置还具备：连接器，其配置在所述支撑体上，容纳所述连接部、所述输入部和所述输出部。

3.如权利要求1或2所述的致动器装置，其中：

在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第2压电体的外缘位于比所述第1压电体的外缘靠内侧的位置。

4.如权利要求1～3中任一项所述的致动器装置，其中：

所述第1电极部具有：配置于所述第2主面的第1电极。

5.如权利要求4所述的致动器装置，其中：

所述致动器装置还具备：具有导电性的第1粘接构件，

所述第1电极部还具有：与所述金属基板一体地形成的导电部、和具有导电性的第2粘接构件，

所述支撑体具有：与所述输入部或所述输出部电连接的第1电极焊盘，

所述第1电极焊盘位于所述支撑体的表面中的与所述金属基板相对的区域，

所述第1粘接构件将所述金属基板与所述第1电极焊盘粘接，

所述第2粘接构件将所述第1电极与所述导电部粘接。

6.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其中：

所述第2电极部具有：配置于所述第1主面的第2电极。

7.如权利要求6所述的致动器装置，其中：

所述致动器装置还具备：第1导线，

所述支撑体具有：与所述连接部电连接的第2电极焊盘，

所述第2电极焊盘位于所述支撑体的表面中的、在所述金属基板的厚度方向上相对于所述金属基板配置有所述第2电极侧的区域，

所述第1导线架设于所述第2电极和所述第2电极焊盘。

8.如权利要求7所述的致动器装置，其中：

在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第2电极包括位于所述第2压电体的外侧的区域，

所述第1导线架设于所述区域和所述第2电极焊盘。

9.如权利要求6～8中任一项所述的致动器装置，其中：

所述第2电极部还具有：配置于所述第4主面的第3电极。

10.如权利要求9所述的致动器装置，其中：

所述第2电极部还具有：具有导电性的第3粘接构件，

所述第3粘接构件将所述第2电极与所述第3电极粘接。