[发明专利]致动器装置和致动器系统

说明书

致动器装置包括配线基板、金属基板、设置于金属基板的第1电极部、配置于第1电极部上的驱动用压电体、配置于驱动用压电体的第1主面的第2电极部、配置于第2电极部上的检测用压电体、配置于检测用压电体的第3主面的第3电极部、连接部、输入部和输出部。连接部构成为与外部的基准电位电连接，第2电极部的电位成为基准电位。输入部构成为从外部向第1电极部输入驱动信号。输出部构成为将在检测用压电体中产生的输出信号从第3电极部向外部输出。

技术领域

本发明涉及致动器装置和致动器系统。

背景技术

已知一种致动器装置，其包括：具有能够摆动的可动部的金属基板；支撑金属基板的支撑体；配置于金属基板的一个主面的驱动用压电体；和配置于金属基板的另一个主面的检测用压电体(例如，参照日本特开2014-160140号公报)。在这样的致动器装置中，驱动用压电体作为用于使可动部动作的压电体发挥功能，检测用压电体作为用于检测可动部的动作量的压电体发挥功能。

发明内容

在上述那样的致动器装置中，在金属基板的一个主面配置驱动用压电体，在金属基板的另一个主面配置检测用压电体，所以驱动用压电体与检测用压电体的相对位置关系容易产生偏差。如果该位置关系产生偏差，则难以高精度地检测可动部的动作量。具体而言，当向驱动用压电体输入用于使可动部进行共振动作的驱动信号时，从检测用压电体输出的输出信号包含来自驱动用压电体的静态应变信号。因此，为了得到可动部的共振信号，需要从输出信号减去推定为包含在输出信号中的推定静态应变信号。此时，如果驱动用压电体与检测用压电体的相对位置关系产生偏差，则输出信号与推定静态应变信号的相位差产生偏差，其结果是，可动部的共振信号的精度劣化，难以高精度地检测可动部的动作量。

本发明的目的在于提供一种能够高精度地检测可动部的动作量的致动器装置和致动器系统。

本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；设置于金属基板的第1电极部；第1压电体，其配置在第1电极部上，具有与第1电极部为相反侧的第1主面和第1电极部侧的第2主面；配置于第1主面的第2电极部；第2压电体，其配置在第2电极部上，具有与第2电极部为相反侧的第3主面和第2电极部侧的第4主面；配置于第3主面的第3电极部；与第2电极部电连接的连接部；输入部，其与第1电极部和第3电极部中的上述一个电极部电连接；和输出部，其与第1电极部和第3电极部中的上述另一个电极部电连接，金属基板具有：可动部；设置了第1电极部的主体部；和将可动部与主体部连结的连结部，第1压电体和第2压电体中的上述一个电极部侧的压电体，是用于使可动部动作的驱动用压电体，第1压电体和第2压电体中的上述另一个电极部侧的压电体，是用于检测可动部的动作量的检测用压电体，连接部构成为与外部的基准电位电连接而使第2电极部的电位成为基准电位，输入部构成为将用于驱动驱动用压电体的驱动信号从外部输入到上述一个电极部，输出部构成为将在检测用压电体中产生的输出信号从上述另一个电极部输出到外部。

附图说明

图1是一个实施方式的致动器系统的结构图。

图2是图1所示的致动器装置的立体图。

图3是图1所示的致动器装置的俯视图。

图4是图3所示的金属基板、驱动用压电元件和检测用压电元件的一部分的俯视图。

图5是沿着图4所示的V-V线的截面图。

图6是变形例的致动器装置的俯视图。

图7是图6所示的金属基板、检测用压电元件和驱动用压电元件的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

[致动器系统的结构]