[发明专利]半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法

权利要求书

1.半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：包括外环形套(3)，所述外环形套(3)的内部设有发电筒组件，所述外环形套(3)的外侧开设有槽口，该槽口内贯穿设有测温带组件，且测温带组件的两端连接在发电筒组件上，所述外环形套(3)的外侧中部处安装有旋转发电组件，该旋转发电组件的外端部处设有贯穿连接螺杆组件，且位于贯穿连接螺杆组件的外侧插入套设有外连接卡件，且外连接卡件上设有可调节卡头组件，所述测温带组件的外侧安装有缓挡风带(1)，且所述发电筒组件的外侧与半导体废气处理设备内壁之间铺设有换热层组件。

2.根据权利要求1所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：发电筒组件包括顶底板(2)、第二发电机(13)和滚筒(14)，所述外环形套(3)的顶部安装有顶底板(2)，所述顶底板(2)的底中部处安装有第二发电机(13)，所述第二发电机(13)的输出端安装有滚筒(14)，所述滚筒(14)的外侧通过发条缠绕有测温带组件。

3.根据权利要求2所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：测温带组件包括检测带(4)和温度传感器(23)，所述滚筒(14)的外侧缠绕有检测带(4)，且检测带(4)的内部等间距安装有温度传感器(23)，所述检测带(4)的外侧顶部与底部皆安装有缓挡风带(1)。

4.根据权利要求3所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：旋转发电组件包括第一发电机(5)、转轴(15)和电机套(6)，所述电机套(6)的内端部处安装有第一发电机(5)，所述第一发电机(5)的输出端安装有转轴(15)，所述转轴(15)的另一端固定在所述外环形套(3)的外侧中部处，所述电机套(6)的外端部处安装有贯穿连接螺杆组件。

5.根据权利要求4所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：贯穿连接螺杆组件包括外螺纹杆(7)、内螺纹套(8)和内螺纹(18)，所述电机套(6)的外侧端中部处安装有外螺纹杆(7)，所述外螺纹杆(7)的外侧套设有内螺纹套(8)，所述内螺纹套(8)的内部设有与所述外螺纹杆(7)相互啮合的内螺纹(18)。

6.根据权利要求5所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：外连接卡件包括定位盘(10)、卡套(9)、内插槽(16)和插条(11)，所述内螺纹套(8)的外端部处安装有插条(11)，所述插条(11)的外侧套设有内插槽(16)，所述内插槽(16)的外端部处安装有卡套(9)，且卡套(9)套设在所述内螺纹套(8)的外侧处，所述卡套(9)的外端部处安装有定位盘(10)。

7.根据权利要求6所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：可调节卡头组件包括卡杆(12)、滑动板(20)、滑动仓(19)、限位弹簧(21)和外插槽(22)，所述内螺纹套(8)的外侧端部处开设有外插槽(22)，所述卡套(9)的外侧端部处开设有滑动仓(19)，所述滑动仓(19)的内底部处安装有限位弹簧(21)，所述限位弹簧(21)的顶部处安装有滑动板(20)，所述滑动板(20)的内壁安装有贯穿滑动仓(19)的卡杆(12)，所述卡杆(12)的端底部处与所述外插槽(22)相互配合。

8.根据权利要求7所述的半导体废气处理设备用图层温度传感器，其特征在于：换热层组件包括换热带(24)、换热层(25)和导水管(26)，所述电机套(6)的端部且位于所述转轴(15)的外侧连接套设有换热带(24)，所述换热带(24)的内部铺设有换热层(25)，所述换热层(25)连通有导水管(26)；所述卡套(9)的外侧靠近内螺纹套(8)处且位于半导体废气处理设备的外侧套设有密封圈(17)，且密封圈(17)贴合在半导体废气处理设备的外壁。