[发明专利]半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法

说明书

本发明公开了半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法，属于图层温度传感器技术领域，在半导体废气处理设备内管道直径对称点上开设两组通孔，将两组外环形套至于半导体废气处理设备管道内，使其检测带位于管道直径线上，调节内螺纹套在外螺纹杆外侧的位置，以适应半导体废气处理设备管道的厚度，使其内螺纹套位于半导体废气处理设备管道的外壁，将内螺纹套插入至通孔内，然后从半导体废气处理设备管道的外侧将卡套套设在内螺纹套的外侧上，通过拉动卡杆调节滑动板和限位弹簧配合外插槽对内螺纹套进行限位固定，当高温气体吹动缓挡风带和检测带，则带动滚筒旋转。

技术领域

本发明涉及一种图层温度传感器，特别是涉及一种半导体废气处理设备用图层温度传感器，本发明还涉及一种针织品生产速干设备的速干方法，特别涉及半导体废气处理设备用图层温度传感器的温度感应方法，属于图层温度传感器技术领域。

背景技术

现有技术中用于半导体废气处理设备的温度传感器存在如下问题：

1、采用的结构往往是单独的条型结构的温度传感器进行对温度的测量，但是这样的测量方式并不全面，无法实现对半导体废气处理设备的管道内通过废气进行全面的检测，

2、现有技术中用于半导体废气处理设备的温度传感器仅仅只能进行温度检测并无法实现充分利用用于半导体废气处理设备的高温废气的动能以及温度的充分利用，导致能源的浪费还需要单独采用能源回收设备进行能源回收比较浪费成本；

3、现有技术中的半导体废气处理设备的温度传感器仅仅只能实现单独的点型温度检测，无法实现条状的全面的带状温度检测；

为此设计一种半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法来解决上述问题。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法，在半导体废气处理设备内管道直径对称点上开设两组通孔，将两组外环形套至于半导体废气处理设备管道内，使其检测带位于管道直径线上，调节内螺纹套在外螺纹杆外侧的位置，以适应半导体废气处理设备管道的厚度，使其内螺纹套位于半导体废气处理设备管道的外壁，将内螺纹套插入至通孔内，然后从半导体废气处理设备管道的外侧将卡套套设在内螺纹套的外侧上，通过拉动卡杆调节滑动板和限位弹簧配合外插槽对内螺纹套进行限位固定，当高温气体吹动缓挡风带和检测带，则带动滚筒旋转，通过滚筒的旋转驱动第二发电机进行发电，当高温气体吹动缓挡风带和检测带旋转的时候则带动外环形套旋转，通过外环形套调节转轴旋转，驱动第一发电机进行发电，通过温度传感器对半导体废气处理设备管道沿直径不同位置进行温度的检测构成带状全面检测。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

半导体废气处理设备用图层温度传感器，包括外环形套，所述外环形套的内部设有发电筒组件，所述外环形套的外侧开设有槽口，该槽口内贯穿设有测温带组件，且测温带组件的两端连接在发电筒组件上，所述外环形套的外侧中部处安装有旋转发电组件，该旋转发电组件的外端部处设有贯穿连接螺杆组件，且位于贯穿连接螺杆组件的外侧插入套设有外连接卡件，且外连接卡件上设有可调节卡头组件，所述测温带组件的外侧安装有缓挡风带，且所述发电筒组件的外侧与半导体废气处理设备内壁之间铺设有换热层组件。

优选的，发电筒组件包括顶底板、第二发电机和滚筒，所述外环形套的顶部安装有顶底板，所述顶底板的底中部处安装有第二发电机，所述第二发电机的输出端安装有滚筒，所述滚筒的外侧通过发条缠绕有测温带组件。

优选的，测温带组件包括检测带和温度传感器，所述滚筒的外侧缠绕有检测带，且检测带的内部等间距安装有温度传感器，所述检测带的外侧顶部与底部皆安装有缓挡风带。

优选的，旋转发电组件包括第一发电机、转轴和电机套，所述电机套的内端部处安装有第一发电机，所述第一发电机的输出端安装有转轴，所述转轴的另一端固定在所述外环形套的外侧中部处，所述电机套的外端部处安装有贯穿连接螺杆组件。