[发明专利]一种晶圆自动涂胶设备

权利要求书

1.一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：包括机架(1)、上料装置、第一涂胶装置、第一烘干装置、第二涂胶装置、第二烘干装置、下料装置、送料装置和控制系统，所述机架(1)上依次设置有所述上料装置、所述第一涂胶装置、所述第一烘干装置、所述第二涂胶装置、所述第二烘干装置和所述下料装置，同步进行有，所述送料装置将所述第二烘干装置上的晶圆(2)输送到所述下料装置上，所述送料装置将所述第二涂胶装置上的所述晶圆(2)输送到所述第二烘干装置上，所述送料装置将所述第一烘干装置上的所述晶圆(2)经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述送料装置将所述第一涂胶装置上的所述晶圆(2)输送到所述第一烘干装置上，所述上料装置将储料框(3)中的所述晶圆(2)放置在所述第一涂胶装置上，上述所有的装置均与所述控制系统中的微控制器电连接；

所述第一涂胶装置和所述第二涂胶装置均包括第一支撑架(4)、第一滑动座(5)、喷头(6)、喷胶阀(7)、第一伺服电机(8)、转动盘(9)、定位感应器(10)和光刻胶水回收组件，所述第一支撑架(4)的下端固定设置在所述机架(1)上，所述第一滑动座(5)滑动设置在所述第一支撑架(4)的上端，所述第一支撑架(4)上设置有用于驱动所述第一滑动座(5)滑动的第一气缸(11)，所述第一气缸(11)通过控制阀组与气源相连，所述喷头(6)通过所述喷胶阀(7)与胶原相连，所述喷头(6)固定设置在所述第一滑动座(5)上，所述第一伺服电机(8)固定设置在所述第一支撑架(4)的下部上，所述转动盘(9)固定设置在所述第一伺服电机(8)的输出轴上，所述转动盘(9)上设置有若干第一吸孔(12)，所述第一吸孔(12)与所述控制阀组相连，所述转动盘(9)的外侧设置有回收光刻胶水的所述光刻胶水回收组件，所述转动盘(9)上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆(2)的抓取槽(13)，所述第一支撑架(4)上设置有用于检测所述转动盘(9)停止位置的所述定位感应器(10)，所述喷胶阀(7)、所述第一伺服电机(8)、所述控制阀组和所述定位感应器(10)均与所述微控制器电连接；

所述第一烘干装置和所述第二烘干装置均包括第二支撑架(14)和电加热盘(15)，所述第二支撑架(14)的下端固定设置在所述机架(1)上，所述电加热盘(15)固定设置在所述第二支撑架(14)的上端，所述电加热盘(15)上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆(2)的支撑柱(57)，所述支撑柱(57)的上端面与所述转动盘(9)的上表面处在同一水平面上，所述电加热盘(15)与所述微控制器电连接；

所述下料装置包括第三支撑架(16)、第二伺服电机(17)、第二滑动座(18)和收料框(19)，所述第三支撑架(16)滑动设置在第六滑动座(58)上，所述第六滑动座(58)固定设置在所述机架(1)上，所述第六滑动座(58)上设置有用于驱动所述第三支撑架(16)在所述第六滑动座(58)上前后滑动的第二气缸(59)，所述第二滑动座(18)滑动设置在所述第三支撑架(16)上，所述第三支撑架(16)的顶部设置有用于驱动所述第二滑动座(18)在所述第三支撑架(16)上滑动的所述第二伺服电机(17)，所述收料框(19)固定设置在所述第二滑动座(18)上，所述收料框(19)上水平设置有若干用于放置所述晶圆(2)的安装槽(20)，所述第二气缸(59)与所述控制阀组相连，所述第二伺服电机(17)与所述微控制器电连接；

所述送料装置包括升降气缸(21)、升降台(22)、第三滑动座(23)、第三伺服电机(24)、第一抓取组件、第二抓取组件和第三抓取组件，所述升降气缸(21)竖直固定设置在所述机架(1)上，所述升降台(22)固定设置在所述升降气缸(21)的输出轴上，所述升降台(22)的下表面上设置有若干导向杆(25)，所述机架(1)上设置有与所述导向杆(25)配合的导向孔，所述升降台(22)上设置有导轨，所述第三滑动座(23)设置在所述导轨上且与所述导轨配合，所述第三伺服电机(24)驱动所述第三滑动座(23)在所述导轨上滑动，所述第一抓取组件固定设置在所述第三滑动座(23)上且用于将所述第一涂胶装置上的所述晶圆(2)输送到所述第一烘干装置上，所述第二抓取组件固定设置在所述第三滑动座(23)上且用于将所述第一烘干装置上的所述晶圆(2)经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述第三抓取组件固定设置在所述第三滑动座(23)上且用于将所述第二涂胶装置上的所述晶圆(2)输送到所述第二烘干装置上，同时所述第三抓取组件将所述第二烘干装置上的所述晶圆(2)输送到所述下料装置上，所述升降气缸(21)与所述控制阀组相连，所述第三伺服电机(24)与所述微控制器电连接；

所述第一抓取组件、所述第二抓取组件和所述第三抓取组件均包括水平气缸(26)、滑块(27)、第一滑轨(28)和抓取杆(29)，所述水平气缸(26)和所述第一滑轨(28)均固定设置在所述第三滑动座(23)上，所述水平气缸(26)的输出轴推动所述滑块(27)在所述第一滑轨(28)上滑动，所述第一抓取组件上设置有一组与所述滑块(27)相连的所述抓取杆(29)，所述第二抓取组件上设置有两组与所述滑块(27)相连的所述抓取杆(29)，所述第二抓取组件上设置有一组所述抓取杆(29)，所述第二抓取组件上设置的所述抓取杆(29)通过旋转部件与所述滑块(27)相连，所述抓取杆(29)上设置有用于抓取所述晶圆(2)的第二吸孔(30)，所述水平气缸(26)和所述第二吸孔(30)均与所述控制阀组相连，所有的所述抓取杆(29)的上表面处在同一水平面上且与所述抓取槽(13)配合；

所述旋转部件包括第一旋转气缸(31)、主动齿轮(32)、齿条(33)、从动齿轮(34)和固定板(35)，所述固定板(35)竖直固定设置在所述滑块(27)上，所述第一旋转气缸(31)固定设置在所述固定板(35)上，所述主动齿轮(32)固定设置在所述第一旋转气缸(31)的输出轴上，所述固定板(35)上设置有滑槽，所述齿条(33)设置在所述滑槽中且与所述主动齿轮(32)配合，所述抓取杆(29)设置在所述从动齿轮(34)上，所述从动齿轮(34)转动设置在所述固定板(35)上且与所述齿条(33)配合。