[发明专利]台阶仪的调校方法在审
| 申请号： | 202210513113.6 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN115077446A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 韩志国;李锁印;邹学锋;张晓东;赵琳;吴爱华;张家欢 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;G01B21/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 任冠娉 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 台阶 调校 方法 | ||
1.一种台阶仪的调校方法，其特征在于，包括：
选取多种不同预设高度的台阶高度样板；
使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子；
基于每种台阶高度样板的修正因子，确定所述待校准的台阶仪的最终修正因子；
将所述最终修正因子输入至所述待校准的台阶仪的测量软件中。
2.如权利要求1所述的调校方法，其特征在于，所述使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子，包括：
使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，得到每种台阶高度样板的测量值；
基于所述每种台阶高度样板的测量值、每种台阶高度样板的标准值、以及所述待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子，确定每种台阶高度样板的修正因子。
3.如权利要求2所述的调校方法，其特征在于，所述基于所述每种台阶高度样板的测量值、每种台阶高度样板的标准值、以及所述待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子，确定每种台阶高度样板的修正因子，包括：
将每种台阶高度样板的标准值与每种台阶高度样板的测量值的比值，确定为每种台阶高度样板的过渡修正因子；
将每种台阶高度样板的过渡修正因子与所述待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子的乘积，确定为每种台阶高度样板的修正因子。
4.如权利要求2所述的调校方法，其特征在于，所述使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，得到每种台阶高度样板的测量值，包括：
使用待校准的台阶仪分别对每种台阶高度样板进行多次测试，并将每种台阶高度样板多次测试的平均值确定为每种台阶高度样板的测量值。
5.如权利要求1至4任一项所述的调校方法，其特征在于，所述基于每种台阶高度样板的修正因子，确定所述待校准的台阶仪的最终修正因子，包括：
将每种台阶高度样板的修正因子分别乘以预设倍数后的和确定为所述待校准的台阶仪的最终修正因子。
6.如权利要求5所述的调校方法，其特征在于，所述将每种台阶高度样板的修正因子分别乘以预设倍数后的和确定为所述待校准的台阶仪的最终修正因子，包括：
将所有台阶高度样板的修正因子的平均值确定为所述待校准的台阶仪的最终修正因子。
7.如权利要求1所述的调校方法，其特征在于，所述选取多种不同预设高度的台阶高度样板，包括：
基于所述待校准的台阶仪的量程上限，确定多种不同预设高度的台阶高度样板。
8.如权利要求7所述的调校方法，其特征在于，所述待校准的台阶仪的每个测量范围内均有与该测量范围对应高度的预设高度的台阶高度样板。
9.如权利要求8所述的调校方法，其特征在于，所述多种不同预设高度的台阶高度样板包括：
预设高度分别为所述待校准的台阶仪的量程上限的10％、50％和90％的三种台阶高度样板。
10.如权利要求1所述的调校方法，其特征在于，所述待校准的台阶仪为压力接触式台阶仪或接触式原子力显微镜。
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