[发明专利]台阶仪的调校方法

说明书

本发明提供一种台阶仪的调校方法，包括：选取多种不同预设高度的台阶高度样板；使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子；基于每种台阶高度样板的修正因子，确定待校准的台阶仪的最终修正因子；将最终修正因子输入至待校准的台阶仪的测量软件中，即可对待校准的台阶仪进行调校。通过采用待校准的台阶仪测试多个不同高度的台阶高度样板，得到多个修正因子，然后通过多个修正因子得到最终的修正因子，从而保证修正因子的可靠性。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，尤其涉及一种台阶仪的调校方法。

背景技术

台阶仪因其测量精度高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好等特点，广泛应用于半导体行业中，用于监测工艺加工过程中台阶结构的高度。

然而，随着台阶仪的长时间使用，其测量台阶高度的准确性会有所下降，影响被工艺监测的准确性。因此，台阶仪需要定期调校，以保正其测量的准确性。

随着纳米科技及微加工领域的发展，对纳米到微米尺度范围内垂直方向上的测试精度要求越来越高。目前一般台阶仪均具有台阶高度调校功能，但是调校的准确度较低，无法满足当前半导体行业对台阶仪调校的精度要求。因此，亟需一种精度较高的调校台阶仪高度量值的方法。

发明内容

本发明实施例提供了一种台阶仪的调校方法，以解决目前台阶仪调校准确度较低的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种台阶仪的调校方法，包括：

选取多种不同预设高度的台阶高度样板；

使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子；

基于每种台阶高度样板的修正因子，确定待校准的台阶仪的最终修正因子；

将最终修正因子输入至待校准的台阶仪的测量软件中。

在一种可能的实现方式中，使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子，包括：

使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，得到每种台阶高度样板的测量值；

基于每种台阶高度样板的测量值、每种台阶高度样板的标准值、以及待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子，确定每种台阶高度样板的修正因子。

在一种可能的实现方式中，基于每种台阶高度样板的测量值、每种台阶高度样板的标准值、以及待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子，确定每种台阶高度样板的修正因子，包括：

将每种台阶高度样板的标准值与每种台阶高度样板的测量值的比值，确定为每种台阶高度样板的过渡修正因子；

将每种台阶高度样板的过渡修正因子与待校准的台阶仪在调校时的原有修正因子的乘积，确定为每种台阶高度样板的修正因子。

在一种可能的实现方式中，使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，得到每种台阶高度样板的测量值，包括：

使用待校准的台阶仪分别对每种台阶高度样板进行多次测试，并将每种台阶高度样板多次测试的平均值确定为每种台阶高度样板的测量值。

在一种可能的实现方式中，基于每种台阶高度样板的修正因子，确定待校准的台阶仪的最终修正因子，包括：

将每种台阶高度样板的修正因子分别乘以预设倍数后的和确定为待校准的台阶仪的最终修正因子。

在一种可能的实现方式中，将每种台阶高度样板的修正因子分别乘以预设倍数后的和确定为待校准的台阶仪的最终修正因子，包括：

将所有台阶高度样板的修正因子的平均值确定为待校准的台阶仪的最终修正因子。