[发明专利]一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，其特征是，包括紫外光源(1)、载物台(2)、准直器(3)和紫外光相机(4)，所述准直器(3)设在载物台(2)上，所述紫外光源(1)和紫外光相机(4)分别设在准直器(3)的前后方，所述紫外光源(1)、准直器(3)和紫外光相机(4)位于同一轴线上；

所述紫外光源(1)发射点光源，所述紫外光相机(4)用于接收紫外光并成像，所述紫外光源(1)和紫外光相机(4)之间的距离为L，采用如下公式确定距离L：

tg(θ)＝d/L

式中，θ为系统测量的角度分辨率，d为紫外光相机(4)的像素尺寸。

2.根据权利要求1所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，其特征是，所述准直器(3)的检测指标包括指向精度、开口面积比和视场，所述指向精度包括孔-孔平行度和孔-面垂直度。

3.根据权利要求1所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，其特征是，所述紫外光相机(4)的成像结果为亮度由中心向外逐渐变暗的圆。

4.根据权利要求1所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，其特征是，所述载物台(2)上设有通孔，所述准直器(3)设在载物台(2)的通孔处；所述载物台(2)具有水平旋转和竖向俯仰二维方向上的动作。

5.根据权利要求1所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，其特征是，所述紫外光源(1)发射的紫外光波长范围为288-338nm。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置的检测方法，其特征是，包括以下步骤：

S1，系统准备：根据测量精度的要求，调整紫外光源(1)、准直器(3)和紫外光相机(4)的相对位置，并保证位于同一轴线上，调整完毕后安装准直器(3)；

S2，连接系统：将紫外光源(1)、载物台(2)和紫外光相机(4)与测试系统进行连接；

S3，进行测试：运行紫外光源(1)和紫外光相机(4)，紫外光相机(4)接收紫外光并成像；

S4，结果转换：根据紫外光相机(4)成像的虚拟原始图像进行转换得到PicC亮度分布三维图，根据PicC亮度分布三维图得出准直器(3)的参数指标，并与预期值进行比对。

7.根据权利要求6所述的一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置的检测方法，其特征是：步骤S4中，PicC亮度分布三维图水平方向的空间坐标为X射线的入射光倾角；PicC亮度分布三维图的峰值为准直器(3)的开口面积比参数；PicC亮度分布三维图的峰值所处位置对应的角度值为准直器(3)的指向精度参数，PicC亮度分布三维图峰值的半宽高为准直器(3)的视场参数。