[发明专利]一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法

说明书

本发明公开了一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法，检测装置包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光相机，所述准直器设在载物台上，所述紫外光源和紫外光相机分别设在准直器的前后方，所述紫外光源、准直器和紫外光相机位于同一轴线上。本发明采用点光源进行照射，一次测量即可得出微通道板的测量结果，避免大量多次且长时间的试验操作，并且光源距离近，粒子通量大，单次测量时间短，有效提升检测作业效率；并且用紫外线代替X射线，避免了X射线带来的辐射危险，减少了人员暴露的危险。

技术领域

本发明涉及紫外光成像器件技术领域，具体涉及一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法。

背景技术

毛细铅玻璃微通道板，是指布满微小通孔阵列的铅玻璃面板，一般用作X射线光学部件，又称为毛细管准直器。微通道板在进行应用前需要对每一块微通道板进行检测，保证其参数符合使用要求。

现有对微通道板的检测方法均采用X射线平行光以不同角度入射进行检测，但是上述检测方法存在较多的技术问题。首先是X射线的强辐射性，在使用X射线进行检测时，需要对检测装置进行屏蔽，并且X射线的辐射特性和屏蔽装置会导致操作人员无法实现高效操作，存在成本高、效率低的问题；其次现有的X射线检测装置是束线检测装置，束线检测装置具有体积大、成本高的缺点；最后是检测时每个角度都需要要统计足够长的时间或者累积足够多的计数，才能保证结果的精确，因此需要多次多角度重复测量，耗时较长，并且由于长时间操作也更容易受到X射线的辐射。

本发明提供一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法，利用点状紫外光源实现微通道板的检测，具有效率高、成本低的优点。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置，包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光相机，所述准直器设在载物台上，所述紫外光源和紫外光相机分别设在准直器的前后方，所述紫外光源、准直器和紫外光相机位于同一轴线上；

所述紫外光源发射点光源，所述紫外光相机用于接收紫外光并成像，所述紫外光源和紫外光相机之间的距离为L，采用如下公式确定距离L：

tg(θ)＝d/L

式中，θ为系统测量的角度分辨率，d为紫外光相机的像素尺寸。

进一步地，所述准直器的检测指标包括指向精度、开口面积比和视场，所述指向精度包括孔-孔平行度和孔-面垂直度。

进一步地，所述紫外光相机的成像结果为亮度由中心向外逐渐变暗的圆。

进一步地，所述载物台上设有通孔，所述准直器设在载物台的通孔处；所述载物台具有水平旋转和竖向俯仰二维方向上的动作。

进一步地，所述紫外光源发射的紫外光波长范围为288-338nm。

一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1，系统准备：根据测量精度的要求，调整紫外光源、准直器和紫外光相机的相对位置，并保证位于同一轴线上，调整完毕后安装准直器；

S2，连接系统：将紫外光源、载物台和紫外光相机与测试系统进行连接；

S3，进行测试：运行紫外光源和紫外光相机，紫外光相机接收紫外光并成像；

S4，结果转换：根据紫外光相机成像的虚拟原始图像进行转换得到PicC亮度分布三维图，根据PicC亮度分布三维图得出准直器的参数指标，并与预期值进行比对。

进一步地，步骤S4中，PicC亮度分布三维图水平方向的空间坐标为X射线的入射光倾角；PicC亮度分布三维图的峰值为准直器的开口面积比参数；PicC亮度分布三维图的峰值所处位置对应的角度值为准直器的指向精度参数，PicC亮度分布三维图峰值的半宽高为准直器的视场参数。