[发明专利]废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质

权利要求书

1.一种废显影液再生装置的再生方法，其特征在于，所述再生方法包括：

收集系统输出废显影液至第一分离系统；

所述第一分离系统接收废显影液，并对所述废显影液进行分离，得到第一分离产物；

将所述第一分离产物通入辅助循环系统；

所述辅助循环系统将所述第一分离产物输送至所述收集系统。

2.根据权利要求1所述的再生方法，所述第一分离系统包括：产品室与原液室，其特征在于，所述第一分离系统接收废显影液，并对所述废显影液进行分离，得到第一分离产物包括：

所述废显影液进入原液室；

通过电场使所述废显影液中的离子移动；

所述离子通过所述移动透过交换膜得到第一分离产物。

3.根据权利要求2所述的再生方法，所述第一分离系统还包括：阳离子交换膜与阴离子交换膜，其特征在于，所述废显影液中的离子透过交换膜得到第一分离产物，包括：

氢氧根离子透过阴离子交换膜进入产品室；

TAA阳离子透过阳离子交换膜进入所述产品室。

4.根据权利要求3所述的再生方法，其特征在于，包括：

所述阴离子交换膜具有选择透过性；

根据所述选择透过性截留所述高价阴离子。

5.根据权利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述辅助循环系统将所述第一分离产物输送至所述收集系统，包括：

将所述第一分离产物进行过滤，得到过滤产物；

将所述过滤产物通入纳滤系统，得到第二分离产物；

将所述第二分离产物通入浓度调整系统，得到混合显影液；

将所述混合显影液输送至所述收集系统。

6.根据权利要求5所述的再生方法，所述纳滤系统中设有纳滤膜装置与纳滤膜，其特征在于，所述将所述过滤产物通入纳滤系统，得到第二分离产物，包括：

在所述过滤产物中加入高纯水稀释后通入纳滤系统，得到第一稀释产物；

所述第一稀释产物中的Na、K、Li阳离子穿过所述纳滤膜，得到第二分离产物。

7.根据权利要求6所述的再生方法，其特征在于，所述将所述第二分离产物通入浓度调整系统，得到混合显影液，包括：

在所述第二分离产物中加入高浓度的显影液，获得混合显影液；

检测所述混合显影液的浓度，获得第一检测结果；

根据第一检测结果，将所述混合显影液通入所述收集系统。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的再生方法，其特征在于，所述过滤方式为微滤、超滤和纳滤中的一种或多种耦合。

9.一种废显影液再生装置，其特征在于，所述再生装置包括处理器，存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令，所述程序或指令被所述处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的再生方法的步骤。

10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质上存储程序或指令，所述程序或指令被处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的控制方法的步骤。