[发明专利]废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质

说明书

本发明涉及废显影液技术领域，具体而言，涉及一种废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质本发明解决的问题：废显影液回收后无法循环利用的问题。为解决上述问题，本发明实施例提供一种废显影液再生装置的再生方法，再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到第一分离产物；将第一分离产物通入辅助循环系统；辅助循环系统将第一分离产物输送至收集系统。

技术领域

本发明涉及废显影液技术领域，具体而言，涉及一种废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质。

背景技术

光刻是电子制造中核心的工序，通过曝光把掩膜版的图案转印至光刻胶，再利用显影液溶解经曝光的光刻胶，留下未经曝光的光刻胶结构。以上显影液通常用季铵碱，常见的为四烷基氢氧化物(以下简称为TMAH)。废显影液中除了TMAH之外，还有光刻胶等杂质，影响显影效果，因此无法继续使用。废显影液属于危险废弃物，必须通过复杂的无害化处理，因此废液处理成本高。而且会造成TMAH等资源的浪费，目前显影废液中TMAH回收再利用尚有需要改善之处，一方面降低废液处理压力，另一方面回收产品再用于制程降低整体制程的成本。

发明内容

本发明解决的问题：废显影液回收后无法循环利用的问题。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种废显影液再生装置的再生方法，再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到第一分离产物；将第一分离产物通入辅助循环系统；辅助循环系统将第一分离产物输送至收集系统。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：收集系统、第一分离系统、辅助循环系统形成一个完整的回路，纯化的TMAH可重新用于显影，实现循环利用，达到有效利用资源的目的，并且可以大幅减少废液量和新显影液的购入，也提升了显影液的利用率；在分离的过程只涉及了物理过程，不涉及到中和、电解等化学过程，提升了分离工作的安全性。

在本发明的一个实施例中，第一分离系统包括：产品室与原液室，第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到第一分离产物包括：废显影液进入原液室；通过电场使废显影液中的离子移动；离子通过移动透过交换膜得到第一分离产物。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：阴板与阳板的设置提供了电场，产品室与原液室设置让显影液中的离子能够得到分离。

在本发明的一个实施例中，第一分离系统还包括：阳离子交换膜与阴离子交换膜，废显影液中的离子透过交换膜得到第一分离产物，包括：氢氧根离子透过阴离子交换膜进入产品室；TAA阳离子透过阳离子交换膜进入产品室。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：阳离子交换膜与阴离子交换膜交替间隔的设置让产品室位于两个原液室的中间，确保显影液中的氢氧根离子与TAA阳离子能够进入到产品室中，增加提纯的效果。

在本发明的一个实施例中，辅助循环系统将第一分离产物输送至收集系统，包括：将第一分离产物进行过滤，得到过滤产物；将过滤产物通入纳滤系统，得到第二分离产物；将第二分离产物通入浓度调整系统，得到混合显影液；将混合显影液输送至收集系统。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：收集系统、电渗析系统、纳滤系统和浓度调整系统形成一个循环的回路，增加了提纯效率，同时也对第一分离产物中的金属离子进行第二次分离，增加了提纯后显影液的纯度。

在本发明的一个实施例中，纳滤系统中设有纳滤膜装置与纳滤膜，将过滤产物通入纳滤系统，得到第二分离产物，包括：在过滤产物中加入高纯水稀释后通入纳滤系统，得到第一稀释产物；第一稀释产物中的Na、K、Li阳离子穿过纳滤膜，得到第二分离产物。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：纳滤膜的设置在确保金属离子渗透的同时，也保证了TMA离子无法穿过纳滤膜，实现显影液的提纯。