[发明专利]元件基板及其制造方法

说明书

一种元件基板及其制造方法，元件基板包括第一基板、第一电极、接合垫以及牺牲电极。第一基板具有主动区以及位于主动区的至少一侧的周边区。第一电极位于主动区之上，且包括第一金属层。接合垫位于周边区之上。牺牲电极包括第二金属层以及牺牲氧化物层。第一金属层电性连接至第二金属层。牺牲氧化物层位于第二金属层的表面，且为第二金属层的氧化物。第二金属层的标准还原电位低于第一金属层的标准还原电位。

技术领域

本发明涉及一种元件基板及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管是一种电致发光的半导体元件，具有效率高、寿命长、不易破损、反应速度快、可靠性高等优点。一般而言，有机发光二极管包含上电极、下电极以及位于上电极与下电极之间的有机发光半导体。在制备有机发光半导体显示装置的过程中，有机发光二极管的电极有可能会接触到氧气，导致有机发光二极管的电极氧化。有机发光二极管的电极在氧化后可能会产生细小的氧化物颗粒，并影响有机发光二极管的效率。

发明内容

本发明提供一种元件基板，能避免第一电极的第一金属层在制造过程中氧化。

本发明提供一种元件基板的制造方法，能避免第一电极的第一金属层氧化。

本发明的至少一实施例提供一种元件基板。元件基板包括第一基板、第一电极、接合垫以及牺牲电极。第一基板具有主动区以及位于主动区的至少一侧的周边区。第一电极位于主动区之上，且包括第一金属层。接合垫位于周边区之上。牺牲电极位于第一基板之上。牺牲电极包括第二金属层以及牺牲氧化物层。第二金属层电性连接至第一金属层。牺牲氧化物层位于第二金属层的表面，且为第二金属层的氧化物。第二金属层的标准还原电位低于第一金属层的标准还原电位。

本发明的至少一实施例提供一种元件基板的制造方法，包括：提供第一基板，第一基板具有主动区以及位于主动区的至少一侧的周边区；形成第二金属层于第一基板之上；形成接合垫于周边区之上；形成第一电极于主动区之上，其中第一电极包括第一金属层，其中第二金属层电性连接至第一金属层，其中第二金属层的标准还原电位低于第一金属层的标准还原电位；以及通过氧化至少部分第二金属层而于第二金属层的表面形成牺牲氧化物层，且氧化至少部分第二金属层时产生的电子传递至第一金属层。

基于上述，第一金属层电性连接至第二金属层，且第二金属层的标准还原电位低于第一金属层的标准还原电位，因此，在元件基板的制造过程中，第二金属层氧化时所产生的电子可以传递至第一金属层，进而改善了第一金属层在制造过程中出现氧化的问题。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的一种元件基板的剖面示意图。

图2A至图2E是图1的元件基板的制造方法的剖面示意图。

图3是依照本发明的一实施例的一种元件基板的剖面示意图。

图4是依照本发明的一实施例的一种元件基板的剖面示意图。

图5是依照本发明的一实施例的一种元件基板的俯视图。

图6是依照本发明的一实施例的一种元件基板的俯视图。

附图标记说明：

10,20,30,40,50：元件基板

100：第一基板

110：第一绝缘层

112：第一开口

114：第二开口

116：第三开口

120：第二绝缘层

122：第四开口

130：像素定义层

132：通孔